硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪

    公开(公告)号:CN103900548A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410164249.6

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/574

    Abstract: 本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接,所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构,所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。

    基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN102749479B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201210202357.9

    申请日:2012-06-18

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 杨波 王寿荣 赵辉

    Abstract: 本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计,该加速度计(100)包括第一外部质量块(101)、设置在第一外部质量块(101)内部且与第一外部质量块(101)相连的第一平面谐振器(103a)、设置在第一外部质量块(101)右方且与第一外部质量块(101)相连的第二外部质量块(102)、设置在第二外部质量块(102)内部且与第二外部质量块(102)相连的第二平面谐振器(103b);本发明结构简单、与平面工艺兼容,避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点,同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响,同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。

    硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置

    公开(公告)号:CN102353366B

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201110178294.3

    申请日:2011-06-29

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置,其包括信号器、力矩器和信号处理模块;信号器包括2对信号检测电极;力矩器包括2对力矩反馈电极;分别用于敏感陀螺仪上2个轴的输入角速度和平衡输入力矩。信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路。信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大电路放大后进行信号解调;每个解调后检测信号分别通过两个差分放大电路,与预载高压进行同相和反相运算后放大输出,输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相调制载波信号叠加,然后输出至力矩反馈电极。本发明采用电容检测和静电力反馈形式解决了硅微动调混合陀螺仪的调谐难题。

    MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法

    公开(公告)号:CN102042832B

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201010554883.2

    申请日:2010-11-23

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及了一种MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法:利用微细加工技术,在玻璃基座上加工出微型加热器和温度传感器,并将玻璃基座与MEMS陀螺仪结构芯片键合。通过在微型加热器两端施加电压对MEMS陀螺仪芯片进行加热,同时利用集成的温度传感器实时监控陀螺仪芯片温度,来驱动外围电路调节加热器两端的电压,维持陀螺仪芯片的温度恒定且略高于工作环境温度的上限。加热器和温度传感器集成在玻璃基座上,体积小而且温度敏感性高。该芯片级温控方法具有功耗低、体积小、适用性强和重复性好的特点,并能与微细加工工艺兼容,可实现批量生产,该方法也可以广泛地用于其他MEMS芯片的芯片级温控。

    双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN102147423B

    公开(公告)日:2012-06-13

    申请号:CN201110045851.4

    申请日:2011-02-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计,包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座;所述微加速度计结构键合在玻璃基座上;所述玻璃基座上设有信号引线,微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接;所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置,结构简单、紧凑、体积小、精度高。

    三轴集成硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN102147424A

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN201110048609.2

    申请日:2011-03-01

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计,包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座;所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线,微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接,所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小,交叉轴间机械耦合和电气耦合较小,更利于加工和封装。

    一种基于半机械生物的分布式传感器网络系统

    公开(公告)号:CN117939422A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410112555.9

    申请日:2024-01-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于半机械生物的分布式传感器网络系统,包括电脑上位机、中央设备、从设备一、从设备二、从设备三、标签设备一、标签设备二、标签设备三以及定位系统。电脑上位机的数据处理是通过LABVIEW图形化编程实现的。中央设备与从机设备是通过蓝牙微微网组网实现无线通信的。手势识别数据采集是通过I2C接口实现的。OLED字符显示是通过SPI接口实现的。超宽带定位模块距离的测量是通过UWB技术使用TWR算法实现的。陀螺仪数据的测量是通过I2C接口实现的。本发明的优点在于:采用无线蓝牙微微网技术进行主从机组网,扩展灵活、控制方便;若干从设备分别采集不同类型的数据信息,对环境的感知能力强。超宽带无线通信定位精度高、传输速率高。

    一种基于微控制单元的挖掘机接触力软测量系统

    公开(公告)号:CN117306627A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311246465.0

    申请日:2023-09-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于微控制单元(以下简称MCU)的挖掘机接触力软测量系统。该系统由传感器阵列、信号调理电路、信号预处理系统和PC上位机四部分组成。信号调理电路对传感器输出的各类信号进行转换,统一调节为MCU可以接收的信号格式。温度传感器和压力传感器输出模拟信号,通过A/D转换模块转换为数字信号后输入MCU。倾角传感器直接输出倾角数据,经由CAN收发器转换为TTL电平与MCU实现通讯。位移编码器输出脉冲信号,经由信号调节电路转化为MCU可接收的脉冲电压后输入MCU的脉冲计数器。本发明为一种安装传感器在液压挖掘机各关节及液压缸处,通过MCU预处理传感器信息并发送至上位机,最后经由上位机运算并估算挖掘机实时接触力的测量系统。

    一种基于复杂控制的挖掘机机械臂柔顺控制系统

    公开(公告)号:CN117192970A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311349527.0

    申请日:2023-10-18

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于复杂控制的挖掘机机械臂控制系统。该系统主要由运动学逆解模块、pid控制器模块、机械臂模块、空间状态模块、模糊控制器模块和变阻抗控制器模块组成;运动学逆解模块负责根据给出的末端位置计算机械臂关节转动角度;pid控制器模块和机械臂模块控制机械臂转动;空间状态模块负责判断机械臂空间状态;模糊控制器模块和变阻抗控制器模块输出位置改变量形成闭环反馈。本发明为一种通过建立挖掘机液压系统的非线性及大延迟模型,实现在不同挖掘工况下基于复杂控制的挖掘机机械臂柔顺控制系统。

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