基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN102749479B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201210202357.9

    申请日:2012-06-18

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 杨波 王寿荣 赵辉

    Abstract: 本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计,该加速度计(100)包括第一外部质量块(101)、设置在第一外部质量块(101)内部且与第一外部质量块(101)相连的第一平面谐振器(103a)、设置在第一外部质量块(101)右方且与第一外部质量块(101)相连的第二外部质量块(102)、设置在第二外部质量块(102)内部且与第二外部质量块(102)相连的第二平面谐振器(103b);本发明结构简单、与平面工艺兼容,避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点,同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响,同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。

    基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN102749479A

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN201210202357.9

    申请日:2012-06-18

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 杨波 王寿荣 赵辉

    Abstract: 本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计,该加速度计(100)包括第一外部质量块(101)、设置在第一外部质量块(101)内部且与第一外部质量块(101)相连的第一平面谐振器(103a)、设置在第一外部质量块(101)右方且与第一外部质量块(101)相连的第二外部质量块(102)、设置在第二外部质量块(102)内部且与第二外部质量块(102)相连的第二平面谐振器(103b);本发明结构简单、与平面工艺兼容,避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点,同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响,同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。

    三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路

    公开(公告)号:CN103901226B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410164579.5

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路,其特征在于,包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路,其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比,该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。

    一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置

    公开(公告)号:CN103776469A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410065841.0

    申请日:2014-02-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置,包括集成了微型加热器和温度传感器的微陀螺、接口电路和FPGA处理电路,通过相互连接形成温控回路、驱动控制回路和检测控制回路,利用了微陀螺内部集成的温度传感器和微型加热器实现硅微陀螺仪芯片级温控温补,具有灵敏度高、重复性好、惯性小、温度信息可信度高、功耗小、控制精度高等优点;基于FPGA的数字温控温补平台,减少了模拟电路本身温度漂移的影响,同时数字化平台参数调整灵活,功能强大,可以灵活实现各种复杂的温控温补算法,有利于系统性能优化。

    一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置

    公开(公告)号:CN103776469B

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201410065841.0

    申请日:2014-02-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置,包括集成了微型加热器和温度传感器的微陀螺、接口电路和FPGA处理电路,通过相互连接形成温控回路、驱动控制回路和检测控制回路,利用了微陀螺内部集成的温度传感器和微型加热器实现硅微陀螺仪芯片级温控温补,具有灵敏度高、重复性好、惯性小、温度信息可信度高、功耗小、控制精度高等优点;基于FPGA的数字温控温补平台,减少了模拟电路本身温度漂移的影响,同时数字化平台参数调整灵活,功能强大,可以灵活实现各种复杂的温控温补算法,有利于系统性能优化。

    三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路

    公开(公告)号:CN103901226A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410164579.5

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路,其特征在于,包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路,其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比,该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。

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