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公开(公告)号：CN104257352A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410523275.3
申请日：2014-10-08
Applicant: 东南大学
CPC classification number: A61B5/40 , A61B5/685 , A61N1/0551
Abstract: 一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹槽；微探针内部还包括若干条引出线，引出线贯穿于微探针内部；一条引出线的一端连接一个探测电极，该条引出线的另一端与一个凹槽形成一个外接引出焊盘；引出线在针头、针杆和基座内的绝缘层中；针杆上设置有若干个呈网络状分布的通孔；本发明具有结构强度高、生物兼容性好、探测信号密度大、可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN102147423A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110045851.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置，结构简单、紧凑、体积小、精度高。
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公开(公告)号：CN104236535A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410449942.8
申请日：2014-09-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；本发明为减小温度和应力对整个微陀螺的影响，采用了完全相同的两个子结构，两个子结构左右对称布置，运动方式为x-y平面内的线运动；采用子结构连接装置，使左右两个子结构成为一个整体，保证了左右两个子结构运动频率的一致性，且子结构连接装置的设计保证了驱动运动和检测运动的隔离，实现了结构运动的全解耦；子结构连接装置保证了陀螺仪驱动运动和检测运动时两个子结构的驱动部分和检测部分分别为相向的线运动。
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公开(公告)号：CN103900548B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410164249.6
申请日：2014-04-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5719
Abstract: 本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。
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公开(公告)号：CN104236535B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410449942.8
申请日：2014-09-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；本发明为减小温度和应力对整个微陀螺的影响，采用了完全相同的两个子结构，两个子结构左右对称布置，运动方式为x-y平面内的线运动；采用子结构连接装置，使左右两个子结构成为一个整体，保证了左右两个子结构运动频率的一致性，且子结构连接装置的设计保证了驱动运动和检测运动的隔离，实现了结构运动的全解耦；子结构连接装置保证了陀螺仪驱动运动和检测运动时两个子结构的驱动部分和检测部分分别为相向的线运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103900548A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410164249.6
申请日：2014-04-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。
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公开(公告)号：CN102042832B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010554883.2
申请日：2010-11-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及了一种MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法：利用微细加工技术，在玻璃基座上加工出微型加热器和温度传感器，并将玻璃基座与MEMS陀螺仪结构芯片键合。通过在微型加热器两端施加电压对MEMS陀螺仪芯片进行加热，同时利用集成的温度传感器实时监控陀螺仪芯片温度，来驱动外围电路调节加热器两端的电压，维持陀螺仪芯片的温度恒定且略高于工作环境温度的上限。加热器和温度传感器集成在玻璃基座上，体积小而且温度敏感性高。该芯片级温控方法具有功耗低、体积小、适用性强和重复性好的特点，并能与微细加工工艺兼容，可实现批量生产，该方法也可以广泛地用于其他MEMS芯片的芯片级温控。
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公开(公告)号：CN102147423B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110045851.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置，结构简单、紧凑、体积小、精度高。
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公开(公告)号：CN102042832A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010554883.2
申请日：2010-11-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及了一种MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法：利用微细加工技术，在玻璃基座上加工出微型加热器和温度传感器，并将玻璃基座与MEMS陀螺仪结构芯片键合。通过在微型加热器两端施加电压对MEMS陀螺仪芯片进行加热，同时利用集成的温度传感器实时监控陀螺仪芯片温度，来驱动外围电路调节加热器两端的电压，维持陀螺仪芯片的温度恒定且略高于工作环境温度的上限。加热器和温度传感器集成在玻璃基座上，体积小而且温度敏感性高。该芯片级温控方法具有功耗低、体积小、适用性强和重复性好的特点，并能与微细加工工艺兼容，可实现批量生产，该方法也可以广泛地用于其他MEMS芯片的芯片级温控。
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公开(公告)号：CN104257352B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410523275.3
申请日：2014-10-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹槽；微探针内部还包括若干条引出线，引出线贯穿于微探针内部；一条引出线的一端连接一个探测电极，该条引出线的另一端与一个凹槽形成一个外接引出焊盘；引出线在针头、针杆和基座内的绝缘层中；针杆上设置有若干个呈网络状分布的通孔；本发明具有结构强度高、生物兼容性好、探测信号密度大、可靠性高的特点。
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