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公开(公告)号：CN102147424B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110048609.2
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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公开(公告)号：CN102147424A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110048609.2
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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公开(公告)号：CN202013362U
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201120051348.5
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上，玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本实用新型结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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