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公开(公告)号：CN105210161A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480026067.0
申请日：2014-07-24
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04 , C04B35/581 , C23C14/34 , G01K7/22 , H01C17/12
CPC classification number: G01K7/22 , C01B21/0602 , C01P2002/72 , C01P2004/04 , C01P2006/32 , C04B35/58007 , C04B35/58042 , C04B35/581 , C04B2235/40 , C04B2235/402 , C04B2235/404 , C04B2235/405 , C04B2235/407 , C04B2235/6584 , C04B2235/6585 , C04B2235/767 , C04B2235/81 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/34 , C23C14/5826 , H01C7/04 , H01C7/041 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：MxAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种。
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公开(公告)号：CN104376939A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410381828.6
申请日：2014-08-06
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: C30B25/06 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C23C14/586 , C30B29/38 , C30B33/04 , H01C7/008 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接形成在薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wAw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN102192792B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201110036332.1
申请日：2011-02-09
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01K1/00
Abstract: 本发明提供一种薄膜热敏电阻传感器，该薄膜热敏电阻传感器拉伸强度高，能够谋求可靠性的提高。其具备：绝缘基板(2)；热敏电阻薄膜(3)，在绝缘基板(2)的上面形成图案；一对电极(4)，从绝缘基板(2)的上面经过热敏电阻薄膜(3)的上面形成图案；以及一对引线框(5)，连接于一对电极(4)，其中，引线框(5)由以下构成：前端接合部(5a)，接合于电极(4)；引线端部(5b)，与外部连接；以及弯曲部(5c)，形成于前端接合部(5a)与引线端部(5b)之间并成为曲折形状。
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公开(公告)号：CN102826602A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210191251.3
申请日：2012-06-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以非烧结获得稳定的热敏电阻特性且耐热性优异的热敏电阻材料、温度传感器及其制造方法。热敏电阻材料由包括Hf、Al及N的氮化物形成，电阻率为1～10000Ωcm，材料常数B值为2000K以上。尤其，在Hf-Al-N的三元系状态图中，Hf：Al：N的组成比在由以原子%计为13.1：21.9：65.0（A点）、20.6：19.9：59.5（B点）、28.6：12.4：58.9（C点）、43.4：0.1：56.4（D点）、37.1：0.5：62.4（E点）、23.6：11.9：64.5（F点）的A点～F点所包围的范围内。
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公开(公告)号：CN101995305A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010253116.8
申请日：2010-08-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其作为EGR气体等的温度测定用，可以进一步提高热响应性。其具备有底筒状的金属管(2)、设置于该金属管(2)的底部内面并形成有一对端子电极的热敏元件(4)及连接于一对端子电极的一对导线(5)，在金属管(2)的底部形成贯穿孔(2a)并将贯穿孔(2a)设成闭塞状态而设置热敏元件(4)。由此，热敏元件(4)的一部分通过贯穿孔(2a)成为露出状态，通过能够直接与外部的排出气体等气氛气体接触，可以使热响应性提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101995302A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010251245.3
申请日：2010-08-10
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其作为EGR气体等的温度测定用，可以进一步提高热响应性。其具备有底筒状的金属管(2)、设置于该金属管(2)的底部内面并形成有一对端子电极的热敏元件(4)及连接于一对端子电极的一对导线(5)，在金属管(2)的底部内面形成沿着热敏元件(4)的外形的凹部(2a)，以热敏元件(4)嵌入于该凹部(2a)的状态粘结该热敏元件(4)的底面及侧面。
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公开(公告)号：CN107923801A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680044835.4
申请日：2016-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01K7/22
CPC classification number: G01K7/223 , G01K1/12 , G03G15/2039
Abstract: 本发明的温度传感器具备一对引线框(2)、与引线框连接的传感器部(3)及保持引线框的绝缘性的保持部(4)，传感器部具备：绝缘性薄膜(5)，在上表面粘结有引线框；薄膜热敏电阻部(6)，形成于绝缘性薄膜；一对梳状电极(7)，形成于薄膜热敏电阻部上；一对图案电极，形成于绝缘性薄膜的上表面；及一对保护胶带(9A、9B)，从上下夹着一对引线框及传感器部而彼此粘结，绝缘性薄膜的两侧部(5a)配设于在一对引线框的粘结面侧上所配设的外侧角部(2b)的附近且内侧，保护胶带的两侧部(9a)从绝缘性薄膜的两侧部在外侧朝向上表面侧弯曲。
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公开(公告)号：CN104838453B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr‑Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN105122385A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480022226.X
申请日：2014-05-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C01B21/0602 , C01P2006/32 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C30B23/02 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的热敏电阻用金属氮化物材料是用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：VxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用V-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN104838453A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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