公开(公告)号：CN103881594B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201310703371.1

申请日：2013-12-19

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: C09J5/00

Abstract: 本发明提供一种工件贴合方法及工件贴合装置，其一边抑制工件的变形和粘结剂的固化收缩一边使粘结剂整体正式固化。本发明的工件贴合装置使被夹在重叠的工件（1、2）之间的粘结剂（3）的一部分局部临时固化而工件（1、2）被临时固定。之后，将粘结剂（3）整体分割为多个区域，使这些分割区域（3b、3c、3d）分多次、依次分别进行局部正式固化。由此，即使在粘结剂（3）整体的总面积较广时，分为多个的比较狭窄的面积部位也隔着时间差分别依次被固化处理，因此与一次性正式固化大面积的粘结剂整体的方法相比，在每次正式固化时产生的工件（1、2）的温度上升量及粘结剂（3）中的分割区域（3b、3c、3d）的固化收缩量大幅减少。

公开(公告)号：CN103959453B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201180075019.7

申请日：2011-11-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  新光工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  渡边将幸

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/67092 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其与第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板对置，并且通过来自按压单元(B)的按压力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以将包含该被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板组(W)保持在内部板(1a)上的状态，从粘合位置(P1)搬出输送托盘(1)。

公开(公告)号：CN103201201B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201180053944.X

申请日：2011-02-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: B65G49/06 ,  C23C14/24 ,  H01L21/677 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L21/6838 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50 ,  H01L21/67132 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/50

Abstract: 本发明的课题在于，将薄板状工件毫无破损地粘附保持来校正薄板状工件的自重挠曲。在被支承部件（1）支承一部分的薄板状工件（W）上，向与薄板状工件（W）交叉的方向靠近移动粘附构件（2）直到其粘附面（2a）的一部分相对于因其自重向下方挠曲变形的非支承部位（W1）接触，使粘附面（2a）的一部分与非支承部位（W1）的表面摸碰地接触，在进行粘附面（2a）的一部分与非支承部位（W1）的表面的局部粘附的时刻，停止粘附构件（2）的靠近移动，之后，使粘附面（2a）在相对于非支承部位（W1）摸碰的同时移动，使粘附面（2a）与非支承部位（W1）的接触面积逐渐增大。由此，粘附面（2a）仿效非支承部位（W1）的自重挠曲并隔着时间差逐渐局部接触，随此将相对于薄板状工件（W）的外在负载抑得非常小，并且，粘附面（2a）的大致整体与非支承部位（W1）接触而被粘附保持。之后，在粘附面（2a）的大致整体与非支承部位（W1）的表面接触的时刻，使粘附构件（2）向与所述靠近移动相反的方向移动至粘附面（2a）与薄板状工件（W）中被支承部件（1）支承的支承部位（W2）成为同一平面的位置。由此，非支承部位（W1）的自重挠曲减少，整个薄板状工件（W）被粘附保持成平面状。

公开(公告)号：CN103959453A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201180075019.7

申请日：2011-11-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  新光工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  渡边将幸

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/67092 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其与第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板对置，并且通过来自按压单元(B)的按压力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以将包含该被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板组(W)保持在内部板(1a)上的状态，从粘合位置(P1)搬出输送托盘(1)。

公开(公告)号：CN103881594A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310703371.1

申请日：2013-12-19

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: C09J5/00

Abstract: 本发明提供一种工件贴合方法及工件贴合装置，其一边抑制工件的变形和粘结剂的固化收缩一边使粘结剂整体正式固化。本发明的工件贴合装置使被夹在重叠的工件（1、2）之间的粘结剂（3）的一部分局部临时固化而工件（1、2）被临时固定。之后，将粘结剂（3）整体分割为多个区域，使这些分割区域（3b、3c、3d）分多次、依次分别进行局部正式固化。由此，即使在粘结剂（3）整体的总面积较广时，分为多个的比较狭窄的面积部位也隔着时间差分别依次被固化处理，因此与一次性正式固化大面积的粘结剂整体的方法相比，在每次正式固化时产生的工件（1、2）的温度上升量及粘结剂（3）中的分割区域（3b、3c、3d）的固化收缩量大幅减少。

公开(公告)号：CN103765303A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280029104.4

申请日：2012-04-19

Applicant: 信越工程株式会社 ,  株式会社FK光实验室 ,  WI-A公司

Inventor： 大谷义和 ,  内山一荣 ,  立川洁 ,  远藤润二 ,  川越康弘 ,  尹炯烈 ,  桥诘幸司

IPC: G02F1/1337 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02B5/3025 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/133788 ,  G02F2001/133757

Abstract: 光定向照射装置，具备：偏振单元（3），其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器（31a～f）；扫描单元，其通过使工作台（4）或偏振光照射单元（2）的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台（4）的基板（9），沿既定的扫描方向扫描来自所述偏振光照射单元（2）的紫外线；以及偏振方向检测单元（6a～f），其能够对于每个所述单位起偏器（31a～f）检测从所述单位起偏器（31a～f）出射的紫外线的偏振方向，从而谋求实现良好的定向特性。

公开(公告)号：CN101316777B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200680000751.7

申请日：2006-09-29

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: G02F1/133 ,  B65G49/06 ,  H01L21/683

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件3使静电吸盘2附着到保持板1上；用附着的静电吸盘2吸附保持工件A，同时用隔离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离，据此工件A不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位置；停止静电吸盘2的静电吸附功能后，用附着部件3再度只将静电吸盘2附着到保持板1上，从移动到释放位置的工件A的表面剥离静电吸盘2，而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明，即使是薄且刚性低的工件，也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。

公开(公告)号：CN1799078B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200480015442.8

申请日：2004-09-27

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田明义 ,  石坂一朗 ,  大岛秀树 ,  关川利夫 ,  竹节宪之

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/1341

Abstract: 本发明涉及一种不使用XYθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在2个基板(A，B)相互维持平行的状态下，将上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板(1，2)中的一个，向真空室(S)的顶板壁(3)或底板壁(4)设置摆动连杆导向机构(6)，将该摆动连杆导向机构(6)由XYθ方向移动机构(5)向XYθ方向摆动，从而使上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向调整移动，从而在XYθ方向对上基板(A)和下基板(B)相互对准位置。

公开(公告)号：CN100481369C

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200580049604.4

申请日：2005-04-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: H01L21/68 ,  H02N13/00

CPC classification number: H02N13/00 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种静电夹盘装置，以简单的处理在短时间内复原为可吸附工件。本发明在与工件(W)平行的平面内将电极(1)分割成多个区域(1a)，在这些每个区域(1a)分别设置独立的电极图案(1b)，同时，在每个区域(1a)分别设置向各电极图案(1b)的供电部(1c)，切断任意的供电部(1c)，而部分地停止向配置于任意区域(1a)的电极图案(1b)的供电。从而，即使为多个区域(1a)中的一部分膜面被破坏的情况，也虽然该破坏的区域(1a)内的电极图案(1b)不作为静电夹盘选择性地起作用，但是其外的区域(1a)的电极图案(1b)仍作为静电夹盘起作用。

公开(公告)号：CN100426338C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200380100016.X

申请日：2003-10-23

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 竹节宪之 ,  古闲泰行 ,  大岛秀树 ,  稻叶亮一

IPC: G09F9/30 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  H05B33/14 ,  H01J9/26 ,  H01J11/00

CPC classification number: H01J9/261

Abstract: 与根据静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持解除联动，使气体(G)从该上侧基板的背面侧喷出，通过将该气体强制注入上方保持板(1)的静电吸附面(5b1)和上侧基板的背面之间，破坏这些静电吸附面和基板面的紧密结合状态，通过使两者剥离，强制性衰减，消灭两者间的静电吸附力，同时，通过所注入气体的压力，强制性地使向下侧基板(B)的下落力，即落下的加速度产生作用，据此，瞬时地使该上侧基板压接到下侧基板上，上侧基板以被静电吸附机构(5b)保持的状态，姿势无变化地移动压接到下侧基板上，密封重叠上下基板。因此，可以强制性地使上侧基板在位置对合的状态下下落，而与静电吸附力的解除不稳定无关。