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公开(公告)号：CN115315346B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202180023060.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。
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公开(公告)号：CN115243863A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202080098169.9
申请日：2020-10-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种分离装置，不使第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部的形状变形而进行剥离。本发明的分离装置，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，所述分离装置中，在容纳于形成在腔室的内部的加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的任一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第一室内表面之间设置的分离吸收部具有位移部位，所述位移部位相对于腔室的第一室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的任一个的背侧以在其厚度方向上变形或移动自如的方式抵接，在容纳于加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的另一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第二室内表面之间设置的保持部具有固定部位，所述固定部位相对于腔室的第二室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的另一个的背侧以无法在厚度方向上移动的方式抵接，控制部通过基于对加压室供给阳压流体的正压调整部的动作的加压室的内压上升，在与设置于腔室的第一室内表面与分离吸收部之间的气密状的第一减压空间部之间产生压力差，使第一板状部件或第二板状部件中的任一个与分离吸收部的位移部位一同朝向第一减压空间部移动。
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公开(公告)号：CN115315346A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202180023060.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116982143A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202180095641.8
申请日：2021-04-30
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明提供一种与第一板状部件的翘曲或凹凸等塑性变形无关地将微小结构物在不使其姿势变形的状态下从临时粘接层转移到第二板状部件的粘合层上的转印装置。所述转印装置的特征在于，具备：第一板状部件，经由临时粘接层装卸自如地保持有微小结构物；第二板状部件，与第一板状部件对置且具有能够向厚度方向弹性变形的粘合层；加压部，将第一板状部件或第二板状部件中的任一方朝向另一方以使临时粘接层及粘合层至少局部平行的方式向厚度方向压入；改性剥离部，使临时粘接层变质以使其粘接力降低；及控制部，对加压部及改性剥离部进行动作控制，控制部如下进行控制：通过加压部将微小结构物的表面压入粘合层中，在使微小结构物的表面咬入粘合层中的状态下，通过改性剥离部使临时粘接层变质。
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公开(公告)号：CN112309907A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010729436.X
申请日：2020-07-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L33/00
Abstract: 本发明防止从第一基板接收多个板状工件至转印部件时因粘结部的过度的挤压致使多个板状工件过分变形。具备：转印部件，设置成从第一对置位置遍及第二对置位置移动自如；粘结部，设置于转印部件的转印面，具有能够弹性变形的粘结面；反作用力支承部，在转印面中比粘结部靠外侧设置成朝向比多个板状工件靠外侧的第一接收面突出，具有硬质的反作用力面；第一接触分离驱动部，使粘结部相对于第一基板靠近移动及分离移动；及控制部，对第一接触分离驱动部进行运行控制，控制部如下进行控制：通过转印部件与第一基板的靠近移动，粘结面与多个板状工件抵接而压缩变形的同时粘结保持多个板状工件，反作用力面与第一基板的第一接收面抵接而停止靠近移动。
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公开(公告)号：CN112309907B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202010729436.X
申请日：2020-07-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L33/00
Abstract: 本发明防止从第一基板接收多个板状工件至转印部件时因粘结部的过度的挤压致使多个板状工件过分变形。具备：转印部件，设置成从第一对置位置遍及第二对置位置移动自如；粘结部，设置于转印部件的转印面，具有能够弹性变形的粘结面；反作用力支承部，在转印面中比粘结部靠外侧设置成朝向比多个板状工件靠外侧的第一接收面突出，具有硬质的反作用力面；第一接触分离驱动部，使粘结部相对于第一基板靠近移动及分离移动；及控制部，对第一接触分离驱动部进行运行控制，控制部如下进行控制：通过转印部件与第一基板的靠近移动，粘结面与多个板状工件抵接而压缩变形的同时粘结保持多个板状工件，反作用力面与第一基板的第一接收面抵接而停止靠近移动。
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公开(公告)号：CN100426338C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200380100016.X
申请日：2003-10-23
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: H01J9/261
Abstract: 与根据静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持解除联动，使气体(G)从该上侧基板的背面侧喷出，通过将该气体强制注入上方保持板(1)的静电吸附面(5b1)和上侧基板的背面之间，破坏这些静电吸附面和基板面的紧密结合状态，通过使两者剥离，强制性衰减，消灭两者间的静电吸附力，同时，通过所注入气体的压力，强制性地使向下侧基板(B)的下落力，即落下的加速度产生作用，据此，瞬时地使该上侧基板压接到下侧基板上，上侧基板以被静电吸附机构(5b)保持的状态，姿势无变化地移动压接到下侧基板上，密封重叠上下基板。因此，可以强制性地使上侧基板在位置对合的状态下下落，而与静电吸附力的解除不稳定无关。
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公开(公告)号：CN1692388A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100016.X
申请日：2003-10-23
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: H01J9/261
Abstract: 与根据静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持解除联动，使气体(G)从该上侧基板的背面侧喷出，通过将该气体强制注入上方保持板(1)的静电吸附面(5b1)和上侧基板的背面之间，破坏这些静电吸附面和基板面的紧密结合状态，通过使两者剥离，强制性衰减，消灭两者间的静电吸附力，同时，通过所注入气体的压力，强制性地使向下侧基板(B)的下落力，即落下的加速度产生作用，据此，瞬时地使该上侧基板压接到下侧基板上，上侧基板以被静电吸附机构(5b)保持的状态，姿势无变化地移动压接到下侧基板上，密封重叠上下基板。因此，可以强制性地使上侧基板在位置对合的状态下下落，而与静电吸附力的解除不稳定无关。
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