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公开(公告)号：CN1568493A
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN03801164.6
申请日：2003-04-18
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: H01J9/241 , G02F1/1341 , H01J9/24 , H01J9/261
Abstract: 提供一种平面板用基板之粘合装置，其不须使用XYθ台即可在真空中从外部使两基板顺畅进行XYθ移动而完成对位。以移动密封机构(4)使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间维持密闭状态并使密闭空间(S)内维持真空状态下，用配设于密闭空间(S)外的定位用移动机构(8)，使两基板(1、2)相对地在XYθ方向进行调整移动，据此使位置调整机构(5)往相同方向移动，以进行两基板(A、B)彼此间的对位，并利用该位置调整机构(5)所具备的Z方向上的高刚性，而使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间保持规定间隔，因此使移动密封机构(4)所承受的支承阻力保持在适当值。
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公开(公告)号：CN1799078A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200480015442.8
申请日：2004-09-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/13 , G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341
Abstract: 本发明涉及一种不使用XYθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在2个基板(A，B)相互维持平行的状态下，将上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板(1，2)中的一个，向真空室(S)的顶板壁(3)或底板壁(4)设置摆动连杆导向机构(6)，将该摆动连杆导向机构(6)由XYθ方向移动机构(5)向XYθ方向摆动，从而使上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向调整移动，从而在XYθ方向对上基板(A)和下基板(B)相互对准位置。
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公开(公告)号：CN1799078B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200480015442.8
申请日：2004-09-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/13 , G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341
Abstract: 本发明涉及一种不使用XYθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在2个基板(A，B)相互维持平行的状态下，将上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板(1，2)中的一个，向真空室(S)的顶板壁(3)或底板壁(4)设置摆动连杆导向机构(6)，将该摆动连杆导向机构(6)由XYθ方向移动机构(5)向XYθ方向摆动，从而使上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向调整移动，从而在XYθ方向对上基板(A)和下基板(B)相互对准位置。
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公开(公告)号：CN1304885C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN03801164.6
申请日：2003-04-18
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: H01J9/241 , G02F1/1341 , H01J9/24 , H01J9/261
Abstract: 提供一种平面板用基板之粘合装置，其不须使用XYθ台即可在真空中从外部使两基板顺畅进行XYθ移动而完成对位。以移动密封机构(4)使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间维持密闭状态并使密闭空间(S)内维持真空状态下，用配设于密闭空间(S)外的定位用移动机构(8)，使两基板(1、2)相对地在XYθ方向进行调整移动，据此使位置调整机构(5)往相同方向移动，以进行两基板(A、B)彼此间的对位，并利用该位置调整机构(5)所具备的Z方向上的高刚性，而使两保持板(1、2)的周缘部(1a、2a)间保持规定间隔，因此使移动密封机构(4)所承受的支承阻力保持在适当值。
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