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公开(公告)号：CN102155931A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201010570497.2
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/18
Abstract: 本发明公开了一种基于温度场有限元分析仿真的的亚表面损伤检测方法，其特征在于，当对零件上下表面加恒温热源时，零件基体内的温度场分布曲线会有两个转折点，分别对应于裂纹的上下端。对被测零件上下表面加恒温热源，用高分辨率扫描热探针探测零件上表面稳定后的温度场分布，得到实测温度场变化曲线；建立具有不同深度亚表面损伤裂纹零件的三维模型，对零件模型的温度场分布进行有限元分析仿真，得到仿真温度场变化曲线。通过计算分析实测的和仿真的温度场分布曲线相对误差，根据仿真变化曲线的拐点判定出损伤裂纹的深度。本发明能够在不损伤零件的情况下短周期、低成本检测出零件亚表面损伤裂纹的深度。
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公开(公告)号：CN101482405A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200910020925.1
申请日：2009-01-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/08
Abstract: 本发明公开了一种曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具，首先用一个专用曲面样品装卡工具装卡曲面样品；然后调节样品安装板的位置及前后倾角，并调节曲面样品装卡工具旋转机构的左右倾角，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面；采用与平面样品同样的方法对曲面样品被测曲面两个曲率半径相同的不同的点进行磨削，得两个大小不同的椭圆磨痕；测量磨痕膜/基结合处和涂层表面的长轴尺寸，利用本发明推导的计算公式即可获得涂层的厚度及误差范围。采用本发明所设计的样品装卡工具，利用现有球磨法测平面样品涂层厚度的设备可精确的测量曲面样品涂层厚度，操作方便、测量成本低。
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公开(公告)号：CN119165007A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411136594.9
申请日：2024-08-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种变压器油中氢气检测原位传感芯片及制备方法、传感器及自校准方法，传感芯片元中，加热电阻以折线形结构层叠于第三绝缘层上以形成均匀热物理场的加热区域；第二绝缘层层叠于加热电阻上；多个气敏电阻设于第二绝缘层上且位于加热区域内，气敏电阻包括钯金属的合金材料制成的折线形结构以及连接折线形结构的气敏引线电极，折线形结构构造成惠斯通电桥结构，测温电阻设于第二绝缘层上且在加热区域内经由多个气敏电阻围绕，测温电阻包括铂材料制成的单线结构以及设于单线结构两端的测温引线电极；Si3N4隔离层覆盖于惠斯通电桥结构的两个相对的电桥臂，另外两个相对的桥臂裸露在空气中，气敏电阻基于氢气输出响应的电压信号。
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公开(公告)号：CN114965598B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202210480855.3
申请日：2022-05-05
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种掺锡氧化镍贵金属修饰的MEMS甲醛传感器及制备方法，在Si基底正反面制备双面氧化硅层、高频Si3N4正应力层、低频Si3N4负应力层、高频Si3N4正应力层、多孔Si3N4低热导率绝缘层；再制备出包括测温电阻、加热电极和敏感叉指电极对，沉积Cr‑Au薄膜制备敏感层图案、掺锡NiO敏感层薄膜；溅射Sn薄膜，Pt和Pd混合靶材贵金属薄膜；制备背部掩蔽层SiO2‑Si3N4；形成绝热槽；通过划片得到气体传感器芯片。通过掺锡氧化镍表面制备贵金属复合颗粒，增加薄膜的比表面积，形成P‑N异质结，提升了甲醛传感器的力学性能，具有更低的热传导系数和更高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN112179956B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202011053124.8
申请日：2020-09-29
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法，该传感器自下至上为SiO2‑Si3N4掩蔽层、Si基底、绝缘层为双层SiO2‑Si3N4叠加、加热电极、敏感电极、测温电极、敏感材料和贵金属掺杂剂。采用聚苯乙烯微球作为掩蔽层，利用氧等离子体刻蚀调节微球直径的大小，利用磁控共溅射ZnO及Al2O3在缩小直径的微球间隙沉积复合敏感薄膜，调节ZnO及Al2O3溅射过程中的溅射功率、时间、衬底温度及溅射压力达到调节复合薄膜微观结构的目的。采用Pd贵金属对掺铝氧化锌薄膜进行掺杂和表面改性，加快气体与界面的吸附及脱附，提高传感器的气敏性能，增加薄膜的比表面积，提高气体传感器的响应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112897456A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110082943.3
申请日：2021-01-21
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种兼容MEMS工艺的背部悬膜气体传感器制备方法，在硅片正面制备SiO2和Si3N4，退火、光刻得到敏感材料图形；溅射敏感材料；剥离退火光刻，得到加热丝及引线盘、测试电极及引线盘图形；蒸镀Cr粘接层和Au层，热处理匀涂光刻胶；再在硅片背部悬膜采用干法刻蚀Si3N4—湿法腐蚀SiO2—干法刻蚀Si的工艺制备，完成背部悬膜气体传感器的制备。该方法在背部悬膜结构释放掉导热好的Si，在气体传感器工作时极大的减少了热量散失，低功耗下即可工作，节能环保，降低了使用成本，易于封装，解决低功耗气体传感器与MEMS工艺不兼容的问题。
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公开(公告)号：CN112179956A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011053124.8
申请日：2020-09-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法，该传感器自下至上为SiO2‑Si3N4掩蔽层、Si基底、绝缘层为双层SiO2‑Si3N4叠加、加热电极、敏感电极、测温电极、敏感材料和贵金属掺杂剂。采用聚苯乙烯微球作为掩蔽层，利用氧等离子体刻蚀调节微球直径的大小，利用磁控共溅射ZnO及Al2O3在缩小直径的微球间隙沉积复合敏感薄膜，调节ZnO及Al2O3溅射过程中的溅射功率、时间、衬底温度及溅射压力达到调节复合薄膜微观结构的目的。采用Pd贵金属对掺铝氧化锌薄膜进行掺杂和表面改性，加快气体与界面的吸附及脱附，提高传感器的气敏性能，增加薄膜的比表面积，提高气体传感器的响应。
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公开(公告)号：CN110269620B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201910563517.4
申请日：2019-06-26
Applicant: 西安交通大学 , 上海礽芯生物科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置，包括：a.受试者将呼出气体经呼吸气罩和过滤器，将呼出气体中的水分与杂质过滤掉；b.实时监测呼气流速变化，生成呼气流速曲线；c.设备控制器判断呼气过程的前、中或者后期，进行阀门上下通道的启闭，将不相关呼气组分排出室外，将与肺泡交换的相关呼气组分通入气体传感器阵列的气室内部；设备控制器获得电压峰值变化曲线，通过电压峰值变化高度，计算出该呼气中的标志性VOCs气体实际浓度。该装置将肺功能参数与呼气VOCs成分、浓度参数两大参数结合进行预测、将数据用于评估疾病，其准确精度高，便于推广使用。
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公开(公告)号：CN110849838A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911183915.X
申请日：2019-11-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明公开了基于硅基集成空芯光波导的多组分气体检测方法及装置，包括：光从宽带光源发出，通过光纤将光引入到密闭空间的硅基iHWG；被测气体以扩散方式进入带孔的硅基iHGW空芯通道；当一定波长的红外光通过待测气体时，被检测气体的浓度变化将导致其特征吸收峰的特征波长的光强度发生变化；通过光纤传输到探测器，将红外光谱与标准谱库的数据进行对比分析由朗伯-比尔定律得到待测多组分气体的浓度，即可实现对目标气体的种类判断和浓度测量。本发明保证系统在密闭、温湿度变化、有辐射及外部振动的复杂条件下的长期稳定工作，实现密闭空间中被测气体所覆盖的波长范围内有特征吸收峰的其它类型气体的免标定检测。
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公开(公告)号：CN105345856B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510740674.X
申请日：2015-11-04
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种厚度可调的切片装置，多个刀座之间设有弹簧组，位于两端的刀座通过拉绳与厚度调节装置连接；刀座上通过连接螺钉固设有刀片，刀座还与往复升降驱动装置连接；与刀片相对的位置设有物料座板。所述的厚度调节装置中，固设在调节座的支承座上支承有丝杆，螺母与丝杆螺纹连接，螺母与拉绳固定连接，丝杆上设有用于驱动丝杆旋转的调节头或电机。本发明提供的一种厚度可调的切片装置，通过设置的厚度调节装置，能够方便地调节刀片之间的间距，从而调节切割的物料的厚度。
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