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公开(公告)号：CN116660466A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310596085.3
申请日：2023-05-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种循环油恒温真空油气分离的互补传感阵列检测装置及方法，循环油恒温真空油气分离装置包括油回路、脱气支路以及检测支路，其中油回路具备油样循环并脱气、电磁搅拌以及油样回充功能；脱气支路具备加速脱气、二级分离以及油雾去除功能；检测支路具备气体富集、压力检测以及互补传感阵列痕量特征气体快速检测功能，该回路内部还包括油中溶解气体互补传感阵列检测装置，通过与油气分离装置协作，具备快速检测以及互补传感阵列信号自校准功能，提高检测装置精度与长期稳定性。该装置可实现变压器设备全生命周期、微型化、大批量、低功耗以及环境友好型的检测。
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公开(公告)号：CN116534788A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310249668.9
申请日：2023-03-15
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于悬膜结构MEMS桥式钯合金氢气传感芯片及制备方法，传感芯片从下到上依次为掩蔽层、硅基底、绝缘层、气敏材料、测试电极与加热电极和保护层。首先在硅基底上制备正面绝缘层和背面掩蔽层；其次在绝缘层上依次溅射沉积电桥结构的钯合金气敏材料、测试电极与加热电极及其引线盘和保护层；最后通过刻蚀背面掩蔽层和硅基底形成悬膜结构。本发明基于钯合金材料构建惠斯通电桥，在保证薄膜强度的基础上提高响应恢复速度，具有灵敏度高、选择性好，输出信号稳定的特点。
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公开(公告)号：CN115472941A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211109884.5
申请日：2022-09-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种单体锂电池植入式氢气检测装置及方法，包括安装在微型印刷电路板上的微型钯合金薄膜氢气传感器和压力传感器构成的氢气测头，氢气测头植入单体锂电池外壳内部上端盖；与电池内部气体接触，利用较小体积的氢气测头准确测量出单体锂电池内部的温度、氢气浓度和压力值，通过电池外部接线柱连接至信号处理与输出电路，对微型钯合金薄膜氢气传感器测得的氢气浓度值进行温度、压力补偿，消除因单体锂电池内部温度和压力变化引起的氢气传感器基线漂移和响应度变化；将获取到的单体锂电池内部温度、压力、氢气浓度值传递至BMS系统，实时监控单体锂电池的氢气浓度，并提高电池内部氢气浓度的检测精度。
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公开(公告)号：CN119165007A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411136594.9
申请日：2024-08-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种变压器油中氢气检测原位传感芯片及制备方法、传感器及自校准方法，传感芯片元中，加热电阻以折线形结构层叠于第三绝缘层上以形成均匀热物理场的加热区域；第二绝缘层层叠于加热电阻上；多个气敏电阻设于第二绝缘层上且位于加热区域内，气敏电阻包括钯金属的合金材料制成的折线形结构以及连接折线形结构的气敏引线电极，折线形结构构造成惠斯通电桥结构，测温电阻设于第二绝缘层上且在加热区域内经由多个气敏电阻围绕，测温电阻包括铂材料制成的单线结构以及设于单线结构两端的测温引线电极；Si3N4隔离层覆盖于惠斯通电桥结构的两个相对的电桥臂，另外两个相对的桥臂裸露在空气中，气敏电阻基于氢气输出响应的电压信号。
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