公开(公告)号：CN107429995A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680019827.4

申请日：2016-04-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·莱维 ,  D·坎戴尔 ,  M·E·阿德尔 ,  L·波斯拉夫斯基 ,  J·鲁滨逊 ,  T·马西安诺 ,  B·布尔戈尔茨 ,  T·格林茨威格 ,  D·克莱因 ,  T·伊茨科维赫 ,  N·卡梅尔 ,  N·阿米尔 ,  V·拉马纳坦 ,  J·坎普 ,  M·瓦格纳

IPC: G01B11/27 ,  G01N21/21 ,  G01N21/31 ,  G01N21/41 ,  G01N21/47 ,  G01N21/64 ,  G01N21/95 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明揭示一种计量性能分析系统，其包含：计量工具，其包含一或多个检测器；及控制器，其以通信方式耦合到所述一或多个检测器。所述控制器经配置以从所述计量工具接收与计量目标相关联的一或多个计量数据集，其中所述一或多个计量数据集包含一或多个测定计量度量且所述一或多个测定计量度量指示与标称值的偏差。所述控制器经进一步配置以确定与所述标称值的所述偏差和一或多个选定半导体工艺变化之间的关系，及基于所述一或多个计量度量的值和所述一或多个选定半导体工艺变化之间的所述关系确定与所述标称值的所述偏差的一或多个根本原因。

公开(公告)号：CN105830069A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201480067806.0

申请日：2014-12-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： M·E·阿德尔 ,  N·阿米尔 ,  M·吉诺乌克 ,  T·夏斯特曼 ,  D·格瑞奥迪 ,  S·博罗迪扬斯凯

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5009

Abstract: 本发明提供用于根据外在要求或内在发展及验证需要，分析目标、工艺及计量配置对广泛范围的参数的灵敏度的系统及方法。系统包括以下元件。输入模块经布置以接收与目标、目标计量条件及生产工艺相关的参数，以产生目标数据。计量模拟单元经布置以从所述目标数据模拟目标的计量测量且产生量化所述模拟目标测量的多个度量。灵敏度分析模块经布置以导出所述度量对所述参数的函数相依性且关于所述所导出的函数相依性界定所述参数的所要不确定性。最后，目标优化模块经布置以关于所述模拟目标测量对目标及目标计量条件进行排名。

公开(公告)号：CN104380454A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380030350.6

申请日：2013-05-03

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·威德曼 ,  M·E·阿德尔 ,  P·塞库拉

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67733 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。