公开(公告)号：CN104380454A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380030350.6

申请日：2013-05-03

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·威德曼 ,  M·E·阿德尔 ,  P·塞库拉

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67733 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。

公开(公告)号：CN104380454B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201380030350.6

申请日：2013-05-03

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·威德曼 ,  M·E·阿德尔 ,  P·塞库拉

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。应强调，提供本摘要是为了遵守要求提供摘要以使搜索者或其他读者快速判定技术揭示内容的标的物的规则。提交本摘要是基于以下理解：其将不被用于解释或限制权利要求书的范围或含义。