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公开(公告)号：CN108151991B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201711355465.9
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式压电陶瓷激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞顶入到套筒内壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN107894315B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711355476.7
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明公开了一种可对MEMS微结构加载冲击载荷的四轴式激励装置，包括套筒，叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及连接下联接块的电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凸起和球面凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，大大减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108225699B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201711355449.X
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开一种以压电陶瓷为激励源的MEMS微结构三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凹槽和凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞定位于套筒内。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217583B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201711355454.0
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开一种带有可动底座结构的MEMS微结构三轴式激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有由套筒壁穿过并套在导向轴上的导向支臂；在上、下联接块上分别设有球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；在套筒内下部设有丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108225699A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355449.X
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开一种以压电陶瓷为激励源的MEMS微结构三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凹槽和凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞定位于套筒内。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108217583A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355454.0
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开一种带有可动底座结构的MEMS微结构三轴式激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有由套筒壁穿过并套在导向轴上的导向支臂；在上、下联接块上分别设有球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；在套筒内下部设有丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108181068A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201711355445.1
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开一种可对MEMS微结构进行片外激励的三轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块、钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有由套筒壁穿过并套在导向轴上的导向支臂；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；在导向支臂上分别设有锁紧装置。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN106586951B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201610867460.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有指向微结构单元的针电极单元；所述微结构单元包括安装套，在安装套的安装孔内一端压装有弹性底座，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，在弹性底座内通过绝缘套镶装有板电极，弹性底座内侧安装有MEMS微结构；在安装孔内另一端压装有光学玻璃板；在安装套外壁沿径向设有真空接头；所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接，所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极。该装置结构安装牢固，操作简便安全，便于在真空环境下测试微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN106477519B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610867055.1
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，包括基板，在基板上对称设有二个电动滑台并在二个电动滑台之间设有水箱单元和支座，在电动滑台上分别通过手动双轴位移台对称安装有针电极单元，针电极单元分别悬垂到水箱单元的箱体内；在支座上安装有微结构单元，微结构单元悬垂到水箱单元的箱体内；二个针电极单元的针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置不仅能够实现在水中对MEMS微结构进行激励，而且能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好。
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公开(公告)号：CN108217582B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201711355450.2
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开一种基于底座激励方法的MEMS微结构四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有配合的球面凹槽和球面凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞顶入到套筒内壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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