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公开(公告)号:CN101487695A
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200910119932.7
申请日:2009-02-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪,属于光测力学、变形检测技术领域。本发明由激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置五大部分组成。集光栅制作与变形测量为一体,可制作可转移光栅模板,也可在试样表面制作零厚度试件栅,通过四光束云纹干涉光路可实现实时变形测量,且光栅频率和测量灵敏度均可按需要调节。光路系统采用光纤技术以消除散斑噪声对光栅、图形质量的影响,位移测量灵敏度达波长量级。此外,本发明还具有结构紧凑、使用方便、光路原理简单、可制作单向栅或正交栅、制作的光栅不易被污染、可对试件实现六个自由度的调节等优点。
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公开(公告)号:CN1815274A
公开(公告)日:2006-08-09
申请号:CN200610011471.8
申请日:2006-03-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种高密度光栅的制作方法,属于光学器件的制造、光测力学技术领域。本发明是在成熟商品仪器激光扫描共聚焦显微镜的操作环境中,利用其照明光源所发出的波长在光刻胶感光敏感波长范围内的聚焦激光点,对光栅基底材料表面的光刻胶进行扫描曝光,通过调整激光扫描共聚焦显微镜目镜的放大倍数、扫描线数、扫描次数以及扫描方向,能制作出可变密度、可变深度的单向光栅、正交光栅或应变花光栅;该方法的光栅制作原理清晰,操作简单,不需要人为布置光路,以及精确调整激光束的入射角度等重要参数;无需专业设备投资,制作成本低。
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公开(公告)号:CN1556371A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN200410000005.0
申请日:2004-01-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多功能三位移激光干涉测量系统,属于光测力学、工程材料、构件变形和位移测试技术领域。本发明由激光器,图像采集摄像系统,分光耦合器,三维干涉光路系统和六维调节载荷架五部分组成。该测量系统可实现u、v、w三个位移场的高精度实时测量,位移测量灵敏度可达波长量级,并具有云纹干涉和电子散斑干涉两种位移测量模式。采用六维调节载荷架能实现六个自由度的调节,使得本系统可同时实现单向拉压、三点弯曲加载实验,具有使用方便,结构紧凑、测量精度高等特点。系统配有相移装置,经过相移技术处理后的位移测量精度可达纳米量级。
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公开(公告)号:CN1035135C
公开(公告)日:1997-06-11
申请号:CN93106837.1
申请日:1993-06-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 高温全息光栅,它是将可动光源制作全息光栅技术与真空镀膜技术结合研制出来的,是一种具有高灵敏度的位移测量基本元件。它是采用双镀层光刻法制作,由两抗氧化能力强的金属镀层构成。两镀层的金属材料相同时如Cr-Cr,则构成位相型高温全息光栅,若两镀层金属材料不同,如Au-Cr则构成振幅型高温全息光栅。本发明的高温全息光栅,频率高,f≤2400L/mm,工作温度范围由常温到950℃均可,抗氧化力强,为光学测量方法在高温领域中的应用奠定了基础。
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公开(公告)号:CN115781200A
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN202310048046.X
申请日:2023-01-31
Abstract: 本申请提供了一种宏观耐低温散斑及制备方法,包括将金属试件表面抛光后清洗金属试件的表面;在金属试件的表面激光打标刻蚀3‑5次形成散斑凹槽并刮擦表面突起;其中激光功率为15W,激光点扫描激光点扫描速度不小于3000 mm/s,填充线间距为0.01 mm,填充方式为蛇形填充,刻蚀形成凹槽的深度小于20微米;在散斑凹槽内喷涂黑漆3‑5次,每次间隔2秒,即形成宏观耐低温散斑,散斑直径为200‑300微米。本申请能够在金属试样表面制备宏观耐低温散斑,制得散斑在低温条件下具有良好的稳定性;此外制斑过程操作简单,形成的散斑可用于低温DIC变形测量和材料力学参数的反演。
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公开(公告)号:CN114858077A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210493911.7
申请日:2022-05-08
Abstract: 本发明公开了一种改进的多尺度高温散斑制备方法,包括以下步骤:1.确定并优化数字散斑场特征参数,生成优化后的多尺度模拟散斑图,并将其转化为CAD文件;2.在试件表面进行双层膜镀膜;3.用飞秒激光系统对与所述试件同样进行双层膜镀膜的玻璃片或者硅片上进行散斑制作的工艺测试,根据外层镀膜厚度设计微观尺度散斑微孔深度和宏观尺度散斑孔的深度,获得各尺度散斑直径以及散斑深度下的飞秒激光系统的激光脉冲参数;4.在试件表面的双层膜上进行刻蚀得到多尺度散斑图案。本发明对试件本身表面无损,在高温环境下不易脱落,并可增强试件耐高温、抗腐蚀等能力。
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公开(公告)号:CN114636384A
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202210206323.0
申请日:2022-03-02
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种多尺度高温散斑的参数化高通量制备方法,包括以下步骤:步骤1.对试件的表面进行清洗、干燥;步骤2.设计和优化散斑参数,编写程序文件,利用注有耐高温粘液的点胶设备作为散斑制备系统,选择合适的高通量点胶方式,根据程序文件指令在所述试件表面制备所需的多尺度高温散斑。本发明可参数化和高通量制备多尺度高温散斑,提升散斑制备的精确性、简易性、高效性和可重复性,且对物体表面无损,普适性强。
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公开(公告)号:CN113295105B
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202110488756.5
申请日:2021-05-06
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明属于全场干涉类光学测量技术领域,涉及一种空间载波调制装置。本发明装置利用折射率对传播方向的影响,在两个光栅之间安装两个楔形透明介质,通过改变两个透明介质的相对位置来实现调控经过这两个透明介质的光的光程差空间分布,进而实现空间载波调制。本发明可有效地实现在测量光路中施加沿着剪切方向的线性的光程差,解决了CGS方法在测量过程中无法施加载波的技术难题,提高了测量精度和效率。本发明装置通过调整楔形棱镜的倾斜角度来实现施加空间载波,其结构简单,原理简明,且不需要改变原有测量系统光路布置,操作简易,而且适用范围广、经济成本低。
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公开(公告)号:CN105547540B
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201510908169.1
申请日:2015-12-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种实时空间相移的相干梯度敏感干涉方法,包括以下步骤:通过相干梯度敏感干涉方法CGS的方法设置光路;在准直镜后设置半透半反与全反射的组合棱镜;设置第一至第四旋转台;设置透明介质薄片;根据旋转角与相移量的定量关系确定相对旋转角度;根据相对旋转角度控制透明介质薄片旋转以保证每次相移步进量分别为π/2,π,3π/2;获取第一至第四条纹图;根据灰度系数分割第一至第四条纹图;按照四步相移原理式进行灰度运算以获取包裹相位场;进行解包裹以获取形貌、曲率和梯度场。该方法可以提高求解精度与效率,实现精确与自动化的动态问题条纹图的处理与计算,简单便捷。
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公开(公告)号:CN105423942A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201511029855.8
申请日:2015-12-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
CPC classification number: G01B11/16
Abstract: 本发明提出一种BSL 3D DIC系统中双棱镜缺陷误差的修正方法,包括:将标定板放置在测量系统的视场内,调整其位置和姿态,采集标定板的错位图像,其中,测量系统包括双棱镜、双远心镜头及一台CMOS相机;从测量系统中移除双棱镜;采集直接观测标定板时的图像;根据标定板的错位图像和直接观测时的图像计算错位前后对应角点的像素坐标;根据直接观测时角点的像素坐标进行镜头畸变标定及修正;构建最小二乘函数,并根据最小二乘函数利用错位前后对应角点的像素坐标对双棱镜主方向角进行标定;将标定结果输入修正数学模型以对双棱镜缺陷误差进行修正。本发明能够对BSL 3D DIC系统中双棱镜误差进行修正,提高系统的测量准确度。
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