用于电子束投影光刻系统的图案化发射器及其制造方法

    公开(公告)号:CN112882351A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110077228.0

    申请日:2021-01-20

    Abstract: 本发明公开了一种用于电子束投影光刻系统的图案化发射器及其制造方法,其中,所述发射器包括发射电极层、图案电极层和基电极层。当基电极层接通电源时,图案电极层中的金属图案也会接通电源,发射电极层中的纳米电极便分为两部分:一部分与图案电极层中预设图案相接触,这些纳米电极也会接通电源;另一部分与预设图案不接触,由绝缘体隔开,这些纳米电极便不会接通电源;当电压达到开启电压时,接通电源的纳米电极便会发射电子,从而达到图案化电子光源的目的。本发明可以实现电子束无需掩模板,在经过加速、光阑、磁透镜等组件后,可形成缩小的电子光源像,投影在目标衬底上。

    一种NASICON型固态电解质的制备方法

    公开(公告)号:CN109742449A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201811537870.7

    申请日:2018-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种NASICON型固态电解质的制备方法。将锂、铝或铟的氯化物以及锆或铪的氯氧盐与氢氧化物混合均匀,在室温下发生固相反应获得纳米级前驱体,利用前驱体中原位生成的金属盐作为熔剂,在高温加热下熔融并且作为反应介质,最终制备了NASICON型固态电解质材料Li1+xAxB2-x(PO4)3(其中,A=Al,In;B=Zr,Hf)。本发明制备的产品在室温下的电导率达到10-3 S/cm量级。相对于常用的制备NASICON型固态电解质材料所用的高温固相法法、溶胶凝胶法等,本发明具有易操作、反应时间短、过程实用、安全性好、成本低、材料纯度高、分散性好、成分均一等优点。

    一种氮硫共掺石墨烯量子点及其制备方法

    公开(公告)号:CN105567230B

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201610097245.X

    申请日:2016-02-22

    Abstract: 本发明公开了一种氮硫共掺石墨烯量子点及其制备方法,将前驱物芘与80‑100ml发烟硝酸混合后,回流搅拌,将芘晶粒表面进行硝基功能化处理,取出反应物后过滤除酸后加入适量的NaOH调节PH值,采用300W超声波分散处理后转移至聚四氟乙烯罐中水热反应,自然冷却后取出反应物过滤透析后干燥;将石墨烯量子点溶于适量去离子水中后,按照反应物比例加入适量的氨水混合均匀后,与适量的升华硫经搅拌后充分混合均匀,转移至聚四氟乙烯罐中,在180‑200℃下维持24h进行水热反应,冷却后取出反应物经过过滤透析后得到氮硫共掺石墨烯量子点。本发明合成过程简单,产率高,成品率高,环保无毒,杂质少,同时原料获取简单。

    一种氮掺杂石墨烯量子点及其制备方法

    公开(公告)号:CN105800595A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610096017.0

    申请日:2016-02-22

    CPC classification number: C01P2002/85 C01P2004/04 C01P2004/80

    Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂石墨烯量子点及其制备方法,将前驱物芘与80?100ml发烟硝酸混合后,回流搅拌,将芘晶粒表面进行硝基功能化处理,取出反应物后过滤除酸后加入适量的NaOH调节PH值至7,采用300W超声波分散处理后转移至聚四氟乙烯罐中水热反应,自然冷却后取出反应物过滤透析后干燥得到石墨烯量子点;将石墨烯量子点与氨水经搅拌后充分混合均匀,转移至聚四氟乙烯罐中,进行高温高压水热反应,自然冷却后取出反应物经过过滤透析后得到具有优异光学性能的氮掺杂石墨烯量子点。本发明的合成过程步骤简单,产率高,成品率高,杂质少。本发明制备的石墨烯量子点,可稳定分散于水中,结构稳定,光学性能优异,表面富含基团。

    一种水溶性石墨烯的制备方法

    公开(公告)号:CN107857254B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201710844158.0

    申请日:2017-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种水溶性石墨烯的制备方法。(1)选用两根天然石墨制成的石墨棒为电极,对石墨棒进行电解剥离,得到电解石墨烯。(2)将电解石墨烯放入三颈圆底烧瓶中,三颈烧瓶的两侧接口一端接氩气或氮气瓶,一端接入氢氧化钠溶液的尾气处理装置;三颈烧瓶的中间接口接入蛇形冷凝管,在三颈烧瓶中倒入300~400 mL质量分数为68%的浓硝酸。(3)将三颈圆底烧瓶浸入到油浴锅中,加热,通入氩气或氮气带走部分硝酸分解后的产物。(4)硝酸彻底蒸发后得水溶性石墨烯。本发明成本低,工艺简单。该水溶性石墨烯结构保持完整,在水中能够很好地分散,浓度高达10 mg/ml的水溶液静置6周后,依然未见到明显的分层现象。

    一种微纳结构层和提高氟化类金刚石薄膜与钢基体结合力的方法

    公开(公告)号:CN110846615A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911156160.4

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明涉及钢基体薄膜材料技术领域,尤其涉及一种微纳结构层和利用微纳结构层提高氟化类金刚石薄膜与钢基体结合力的方法。本发明的微纳结构层,包括在钢基体表面依次层叠设置的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层;所述钢掺杂氟化类金刚石薄膜层与所述氟化类金刚石薄膜接触。本发明的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层均为连续的钢结构,使钢能够穿插于整个微纳米结构层中,所述钢的贯穿起到类似铆钉的作用,以提高FDLC薄膜与钢基体的结合力;同时,所述钢掺杂过渡层,起到阻止碳元素在钢基体中的扩散和FDLC薄膜与钢基体热膨胀系数的匹配,降低薄膜的内应力。

    一种水溶性石墨烯的制备方法

    公开(公告)号:CN107857254A

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201710844158.0

    申请日:2017-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种水溶性石墨烯的制备方法。(1)选用两根天然石墨制成的石墨棒为电极,对石墨棒进行电解剥离,得到电解石墨烯。(2)将电解石墨烯放入三颈圆底烧瓶中,三颈烧瓶的两侧接口一端接氩气或氮气瓶,一端接入氢氧化钠溶液的尾气处理装置;三颈烧瓶的中间接口接入蛇形冷凝管,在三颈烧瓶中倒入300~400 mL质量分数为68%的浓硝酸。(3)将三颈圆底烧瓶浸入到油浴锅中,加热,通入氩气或氮气带走部分硝酸分解后的产物。(4)硝酸彻底蒸发后得水溶性石墨烯。本发明成本低,工艺简单。该水溶性石墨烯结构保持完整,在水中能够很好地分散,浓度高达10 mg/ml的水溶液静置6周后,依然未见到明显的分层现象。

    一种简易制备N型石墨烯场效应管的方法

    公开(公告)号:CN104370282A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201410561468.8

    申请日:2014-10-21

    Abstract: 本发明公开了一种简易制备N型石墨烯场效应管的方法。以化学氧化制备的氧化石墨烯为原料,包括将氧化石墨烯片在基底上旋涂成薄膜,通过光照实现氮掺杂石墨烯的方法。将氟化石墨烯薄膜在NH3气(流量为10torr~30torr)氛围下,通过使用65到75mJ/cm2能量的激光或汞灯能选择的区域位置进行光照,光照时间在5~60分钟范围内,通过光照同时实现还原和氮原子的掺杂。本发明操作方便、成本低、能大批量制备,本发明通过光照时间、强度和掺氟浓度,以达到调控氮掺杂含量、石墨烯的导电率和带隙以及实现N型石墨烯场效应管的效果。

    一种氟化诱导高氮掺杂光还原氧化石墨烯薄膜的方法

    公开(公告)号:CN104129784A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410381140.8

    申请日:2014-08-05

    Abstract: 本发明公开了一种氟化诱导高氮掺杂光还原氧化石墨烯薄膜的方法。以化学氧化制备的氧化石墨烯为原料,包括将氧化石墨烯片在基底上旋涂成薄膜,将氧化石墨烯薄膜与二氟化氙混合氟化,光照实现高氮掺杂石墨烯的方法。所述方法将氟化石墨烯薄膜在NH3气(流量为10torr~30torr)氛围下,通过使用65到75mJ/cm2能量的激光或汞灯可选择的区域位置进行光照,光照时间在5~60分钟范围内,通过光照还原时产生脱氟效应,从而引入空位缺陷,空位缺陷的增多促进N原子的掺杂,从而提高N掺杂含量。本发明操作方便、成本低、能大批量制备,本发明通过光照时间、强度和掺氟浓度,以达到调控氮掺杂含量以及石墨烯的导电率和带隙的效果。

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