公开(公告)号：CN110846615B

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN201911156160.4

申请日：2019-11-22

Applicant: 桂林理工大学

Inventor： 肖剑荣 ,  朱丽雯 ,  蒋爱华 ,  李新宇 ,  王恒 ,  李明

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及钢基体薄膜材料技术领域，尤其涉及一种微纳结构层和利用微纳结构层提高氟化类金刚石薄膜与钢基体结合力的方法。本发明的微纳结构层，包括在钢基体表面依次层叠设置的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层；所述钢掺杂氟化类金刚石薄膜层与所述氟化类金刚石薄膜接触。本发明的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层均为连续的钢结构，使钢能够穿插于整个微纳米结构层中，所述钢的贯穿起到类似铆钉的作用，以提高FDLC薄膜与钢基体的结合力；同时，所述钢掺杂过渡层，起到阻止碳元素在钢基体中的扩散和FDLC薄膜与钢基体热膨胀系数的匹配，降低薄膜的内应力。

公开(公告)号：CN110846615A

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201911156160.4

申请日：2019-11-22

Applicant: 桂林理工大学

Inventor： 肖剑荣 ,  朱丽雯 ,  蒋爱华 ,  李新宇 ,  王恒 ,  李明

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及钢基体薄膜材料技术领域，尤其涉及一种微纳结构层和利用微纳结构层提高氟化类金刚石薄膜与钢基体结合力的方法。本发明的微纳结构层，包括在钢基体表面依次层叠设置的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层；所述钢掺杂氟化类金刚石薄膜层与所述氟化类金刚石薄膜接触。本发明的钢修饰层、钢掺杂过渡层和钢掺杂氟化类金刚石薄膜层均为连续的钢结构，使钢能够穿插于整个微纳米结构层中，所述钢的贯穿起到类似铆钉的作用，以提高FDLC薄膜与钢基体的结合力；同时，所述钢掺杂过渡层，起到阻止碳元素在钢基体中的扩散和FDLC薄膜与钢基体热膨胀系数的匹配，降低薄膜的内应力。