一种纳米分子筛修饰的电容式气敏传感器

    公开(公告)号:CN1529156A

    公开(公告)日:2004-09-15

    申请号:CN200310107840.X

    申请日:2003-10-10

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 黄宜平 刘全

    Abstract: 本发明为一种纳米分子筛修饰的电容式气敏传感器。它由除湿腔和敏感腔两部分组成。其中,敏感腔由两块电容极板及中间的介质层组成,该介质层采用载有纳米分子筛敏感材料的纸质纤维膜。待测样品气体经过除湿腔后去除掉其中的水汽,在敏感腔中通过特定纳米分子筛的作用,将气体的浓度转换成电信号输出。通过测量电容改变值,即可获得气体浓度。本传感器结构简单,价格低廉,灵敏度高。

    光致形变液晶高分子三维可调谐光子晶体及其制备方法

    公开(公告)号:CN101872081A

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN201010197993.8

    申请日:2010-06-10

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于液晶高分子材料技术领域,具体为一种光致形变液晶高分子可调谐光子晶体及其制备方法。本发明先设计出可见光内的三维光子晶体图形结构,制作出SiO2模板,再采用纳米压印等技术将SiO2上的光子晶体结构转移到液晶上。将本发明制得的液晶光子晶体置于玻璃基底上,通过控制外加调制光的强度、入射角度、曝光时间、外界温度的变化使得液晶由向列相转化为同性相,从而改变光子晶体的三维结构参数,使光子禁带的位置发生偏移。该光子晶体可用以设计偏振片、全光光开关、全光可调光衰减器等,以提高微流控、生物监测传感器的检测精度。

    组装式神经微探针阵列的制作方法

    公开(公告)号:CN101254094B

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN200810035866.0

    申请日:2008-04-10

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于神经微探针阵列技术领域,具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起,并用定刻胶对焊接处进行加固,电化学腐蚀出金属探针针尖后,用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方,接着,反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯,根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织,而柔性互连线不会引起太大的损伤,这种方法制作的神经探针集合了两者的优点,有利于用作长期植入式神经信号的探测。

    电镀自焊接三维微电极阵列方法

    公开(公告)号:CN101240435A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200810034328.X

    申请日:2008-03-06

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微电极制备技术领域,具体涉及电镀自焊接三维微电极的方法。其步骤是把微电极穿过金属微孔,并固定在插槽中;对微金属孔进行电镀,使金属孔逐渐变小,直到与穿过微金属孔的微电极结合在一起,从而实现了微电极与微金属孔的自焊接。这种焊接方法可以轻松实现金属微电极阵列与微金属孔的立体焊接,效果很好,并且方法简单,成本也较低。

    一种用于三维电学互连的柔性集成互连线的制作方法

    公开(公告)号:CN101214149A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200710173298.6

    申请日:2007-12-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于柔性互连线的微加工技术领域,具体为一种用于三维电学互连集成连线的制作方法。本发明以聚酰亚胺柔性材料为主体,用微加工工艺把铜互连线镶嵌到聚酰亚胺中,并在微电极阵列对应的地方开孔用于三维互连,从而降低三维互连的复杂性,提高互连线的集成度,降低三维互连的成本;由于聚酰亚胺的柔韧性,降低了互连线对机体组织的损伤,使与其结合的三维神经电极阵列更适合活体应用。

    一种三维神经微电极阵列的制作方法

    公开(公告)号:CN101121500A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200710045640.4

    申请日:2007-09-06

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微电极微加工技术领域,具体为一种三维神经微电极阵列的制作方法。本发明利用玻璃模具、PDMS的微复制特性和电镀技术制作三维微电极阵列,用精密切割机切割玻璃形成柱状阵列,用HF和NH4F的混合液腐蚀出相应的结构作为PDMS微复制的模具,免去了光刻工艺,消除了光刻胶对三维结构尺寸的限制,可以制作更大长度的微电极阵列,这一长度决定于玻璃的切割深度和金属的深孔电镀技术。本发明方法,工艺简单,可以大大降低成本。

    谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法

    公开(公告)号:CN1288451C

    公开(公告)日:2006-12-06

    申请号:CN200410067595.9

    申请日:2004-10-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属压电微传感器技术领域,具体为一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法。该方法根据激励信号在一定范围内的直流偏置电压与压电微结构的谐振频率存在线性对应关系,在非探测环境和探测环境中,分别用激励信号激励压电微结构,利用数据采集卡比较分别获得最大幅值,以及对应于最大幅值的直流偏置电压VDC和VDC1,再根据VDC和VDC1的差值求解得传感器的谐振频率改变值。使用本发明可实现一种简单的,易于芯片集成的谐振式压电微传感器专用的信号检测系统,而且检测灵敏度高。

    一种多通道电极微芯片、其制备方法及应用

    公开(公告)号:CN1243109C

    公开(公告)日:2006-02-22

    申请号:CN200410017098.8

    申请日:2004-03-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 目前,各种基因芯片以微电子学的并行处理和高密度集成技术为特征、以高通量、微型化、智能化等为鲜明特点已在疾病诊断与预测、药物筛选、基因表达谱分析、新基因的发现、基因突变检测及多态分析、基因组文库作图及基因测序等领域获得了引人注目的成就。本发明的微芯片将多路进样、分离和检测集于一体并采用集成的微三电极检测系统,通过测定特异性反应所产生的电化学参数变化来实现样品的分离、分析和检测。在整个测定过程中无需加入标记化合物,消除了目前基于激光诱导产生荧光或化学发光手段进行检测而导致的目标物测定的准确性或特异性的降低。本发明不仅可以高效率、高通量地分析多种样品,而且,与目前方法的相比具有更高的灵敏度和选择性。

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