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公开(公告)号：CN106884143A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710028457.7
申请日：2017-01-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: C23C14/086 , C23C14/0036 , C23C14/35
Abstract: 本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种在太赫兹波段具有可控透射率的掺钼氧化锌薄膜的制备方法。本发明利用反应直流磁控溅射及退火技术调控掺钼氧化锌薄膜在太赫兹波段的光学特性，具体为：利用反应直流磁控溅射方法，以锌钼金属镶嵌靶为靶材，以石英玻璃为基板，用Ar离子轰击靶材，形成具有多晶结构的掺钼氧化锌薄膜。然后在特定条件下退火，调节掺钼氧化锌薄膜在太赫兹波段的透射率。本发明方法工艺稳定性好，具有工业生产前景。
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公开(公告)号：CN103397302B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310271374.2
申请日：2013-07-01
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于太阳能和激光技术领域，具体为一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO2薄膜的制备方法。本发明采用射频磁控溅射技术，靶材使用镶嵌金属Er片和Yb片的TiO2陶瓷靶，基片为石英或硅片；射频磁控溅射制备得上转换发光的稀土元素Er/Yb共掺杂TiO2薄膜，并通过控制靶材中Er和Yb的含量来控制掺杂量，从而得到致密性好，均匀程度高，机械和光学性能优良的上转换发光薄膜。
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公开(公告)号：CN103394376A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310271709.0
申请日：2013-07-01
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光催化薄膜技术领域，具体为一种钼碳共掺二氧化钛光催化薄膜的制备方法。本发明采用射频磁控溅射技术，使用三靶共溅的溅射仪器，三个溅射靶分别为碳化钛陶瓷靶、嵌钼二氧化钛陶瓷靶以及纯二氧化钛陶瓷靶；基板采用玻璃或金属板，溅射时以Ar离子轰击靶材，通过调节各靶的溅射功率来实时调控薄膜的钼、碳和钛的原子浓度比，以获得优良的光催化和光电转换性能。
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公开(公告)号：CN101069840B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200710042334.5
申请日：2007-06-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于纳米二氧化钛光催化与光电化学技术领域，具体为一种可见光活性的碳掺杂二氧化钛薄膜的制备方法。该方法采用反应磁控溅射镀膜系统，其步骤包括制备碳钛镶嵌靶；将工作室抽至10-3Pa以下的真空，再依次通过适当比例的氧气和氩气，控制溅射电流为0.5～1A，溅射时间为0.5～3小时，即制得碳掺杂二氧化钛薄膜。本发明制备方法简单，制得薄膜具有可见光活性，可应用于太阳能光电转换和光催化分解水等方面。
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公开(公告)号：CN101829542A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010176268.2
申请日：2010-05-13
Applicant: 复旦大学 , 上海复旭分子筛有限公司
Abstract: 本发明属于化工技术领域，具体为一种高载银量沸石分子筛醋酸脱碘吸附剂及其制备方法。该吸附剂沸石孔道开口尺寸分别为0.66X0.71纳米与0.56X0.56纳米，具有BEA型沸石结构的特征X射线衍射线。该醋酸脱碘吸附剂用市售具有二维十二氧员环孔道开口的钠型BEA沸石分子筛粉，用粘结剂成型，原位水热强化处理产生化学键，再经离子交换脱钠、载银后制成。该吸附剂结晶程度高、颗粒强度大、载银量高，对强酸性介质中所含不同尺寸的有机碘化物和无机碘化物及分子碘均有强吸附能力，可以使经该吸附剂脱碘处理后产物醋酸中的总碘含量低于5ppb，适合用于作合成醋酸乙烯的原料。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN110129730A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910474490.1
申请日：2019-06-03
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜的制备方法，所述制备方法先后采用磁控溅射法和阳极氧化技术，钼掺杂浓度通过溅射靶的钼、钛的原子浓度比来调节，纳米管尺寸和长度由阳极氧化技术控制；具体步骤为：清洗基板；在清洗后的基板上使用磁控溅射法沉积MoTi合金膜；控制基板温度为室温~300℃；采1.7用~1氩77气 k，W控/制m真2；将空制室备内得气到压的为M0.o1~T2i.合5 金Pa膜，溅在电射功解率液密中度采为用阳极氧化技术得到钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜；将钼掺杂二氧化钛纳米管阵列薄膜进行退火处理。本发明方法具有工业生产前景，实验重复性好，是一种制备优异光电转换性的Mo掺杂TiO2纳米管阵列薄膜的新方法。
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公开(公告)号：CN109742152A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811649070.4
申请日：2018-12-30
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/24 , H01L21/34
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，具体为一种稀土Er掺杂SnO2薄膜晶体管及其制备方法。本发明采用磁控溅射法在SiO2介质层上制备ErSnO沟道层，源漏电极采用ITO透明导电薄膜。本发明将稀土Er材料通过物理的方法掺杂进SnO2半导体中，有效地抑制了SnO2半导体的缺陷态。制备的场效应薄膜晶体管器件综合性能优良，器件场效应迁移率大于3.0 cm2V-1s-1，开关比大于106，阈值电压大于-9 V，亚阈值摆幅小于1 Vdec-1，具有广阔的工业应用前景。
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公开(公告)号：CN104297395A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410222786.1
申请日：2014-05-23
Applicant: 复旦大学附属华东医院
Abstract: 本发明涉及一种分离和测定粉防己碱和防己诺林碱的方法，包括：(1)将防己生药或含防己的中药制剂用甲醇溶解，超声后过滤；(2)采用步骤(1)得到的滤液进行高效液相色谱检测；其中流动相为体积比为65:35的甲醇-水混合液，添加1g/L辛烷磺酸钠并用冰醋酸调节pH值为3，流速1mL/min，进样量10μL。本发明中采用甲醇溶解进行样品预处理，操作简便，成本低，整个色谱分析过程时间为14min，粉防己碱和防己诺林碱的最低检出量分别为0.28mg/L和0.13mg/L，线性范围分别为125-4000mg/L和47-1500mg/L，线性相关系数良好，方法回收率大于90％，RSD小于10％。
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公开(公告)号：CN102836704B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201210350730.5
申请日：2012-09-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光催化薄膜技术领域，具体为一种三层结构的掺钼TiO2光催化薄膜及其制备方法。三层结构中，底层为高浓度掺钼TiO2薄膜，中间为低浓度掺钼TiO2薄膜，顶层为纯TiO2薄膜；本发明利用多靶射频磁控共溅射技术原位制备三层结构的钼掺杂TiO2薄膜，制膜过程在真空室中一次完成，方法简便高效，适合大面积的工业化生产。本发明以钼的掺杂浓度来控制各层的费米能级，利用层与层间的费米能级差在薄膜内植入了多个可调制的内建电场，实现了高浓度掺杂半导体在可见光下大量电子-空穴对的迅速分离，最终得到在可见与紫外波段光催化性能优异的薄膜。
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