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公开(公告)号：CN106884143A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710028457.7
申请日：2017-01-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: C23C14/086 , C23C14/0036 , C23C14/35
Abstract: 本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种在太赫兹波段具有可控透射率的掺钼氧化锌薄膜的制备方法。本发明利用反应直流磁控溅射及退火技术调控掺钼氧化锌薄膜在太赫兹波段的光学特性，具体为：利用反应直流磁控溅射方法，以锌钼金属镶嵌靶为靶材，以石英玻璃为基板，用Ar离子轰击靶材，形成具有多晶结构的掺钼氧化锌薄膜。然后在特定条件下退火，调节掺钼氧化锌薄膜在太赫兹波段的透射率。本发明方法工艺稳定性好，具有工业生产前景。
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