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公开(公告)号：CN108535881B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201810362414.7
申请日：2018-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明提供了一种具有超表面的钙钛矿天线，包括从上至下层叠设置的钙钛矿层、金膜和基底。本发明还提供了一种具有超表面的钙钛矿天线的制备方法。本发明的有益效果是：利用金膜设计了在反射模式下工作的钙钛矿天线为基的超表面调控光束，钙钛矿天线在可见光范围内折射率高，能够在较小的厚度下实现在‑π~π的范围内调控光的相位，并进一步应用于异常反射，异常反射的效率较高，并且，钙钛矿天线便于制备。
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公开(公告)号：CN110347014A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910639978.5
申请日：2019-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明属于光电探测器件制备技术领域，具体涉及一种制备高纵宽比二氧化钛的垂直刻蚀工艺，所述工艺包括：在ITO玻璃片上镀上一定厚度的二氧化钛，然后在二氧化钛上用均匀旋涂一层PMMA光刻胶；然后通过电子束使得PMMA会发生变性，固化去除，然后在PMMA的地方镀上一层金属掩膜；再对二氧化钛和金属掩膜采用不同的刻蚀速率进行垂直刻蚀，得到高纵宽比的二氧化钛。该工艺具有侧壁近似垂直；选择比高；能加工纵宽比很大的结构；加工方便等优势。
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公开(公告)号：CN110007451A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910277288.X
申请日：2019-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。
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公开(公告)号：CN106054287A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610628539.0
申请日：2016-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种可见光波段变换的光学器件结构单元及光学器件，所述可见光波段变换的光学器件结构单元包括TiO2材料组成的天线、银镜和二氧化硅基底，其中顶层是天线结构，中间一层是银镜，底部是二氧化硅基底材料，其中天线的宽度尺寸a=160nm至180nm，天线的长度尺寸b=240nm至370nm，银镜和二氧化硅基底的长度和宽度相等，记为P，周期 P=430±10nm，天线结构厚度t1=240±5nm，所述银镜银层厚度t2=300±20nm。本发明的光学器件采用二氧化钛纳米天线作为基本结构单元，超构表面亚单元在波长为632 nm处完美实现了光束异常反射，其形成的光学器件具有较高的异常反射转换效率。
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公开(公告)号：CN104749665B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510164384.5
申请日：2015-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供了一种基于介质材料的平面透镜单元、平面透镜及制备方法，单元包括高折射率介质材料组成的天线、二氧化硅填充层、银镜和二氧化硅基底。平面透镜包括以中心对称分布的平面透镜单元，平面透镜单元的天线在x轴上呈周期分布，在y轴上以y=0为对称中心对称分布。制备方法为：第一步是在二氧化硅基底上覆盖一层银膜，然后在银膜表面上继续用电子束蒸镀覆盖填充层二氧化硅和硅膜；第二步是在硅膜上旋涂光刻胶，然后用电子束曝光技术完成光刻胶的刻蚀和显影；第三步是采用反应离子束刻蚀技术实现对硅膜的刻蚀；第四步是经过剥离过程得到最终的纳米硅天线。该结构可以提高一个数量级的聚焦效率，因此具有很高的实际应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103592703A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310574700.7
申请日：2013-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供低损耗平面超透镜，平面超透镜是由交替出现的深色和浅色的多层膜组成，层数在20层到30层之间，深色部分是增益层，浅色部分是金属材料层，增益层材料厚度都为Wg，金属层厚度都为Wm；最顶层为金属层，最底层为增益层。低损耗平面超透镜的制作方法，步骤1.在平整的紫外透明基底上利用真空热蒸镀的办法蒸镀上厚度为Wg的增益层；步骤2.在步骤1得到的增益层的基础上，利用电子束蒸镀的办法镀上厚度为Wm的金属层；步骤3.在步骤2得到的平面膜的上面交替镀上周期性的增益层和金属层多层膜；步骤4.最后在表面上再镀上厚度为Wg的增益层作为保护层。这种超透镜的分辨率很高，重量很轻和厚度很薄，并且由于是一个平面结构，很容易集成和利用。
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公开(公告)号：CN114675370B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202210355850.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种测量光子轨道角动量模式的超构表面集成器件的制作方法，根据组装光路将将第一层超构表面、第二层超构表面和CMOS相机粘接起来，超构表面集成器件组装完成。本方法使用超构表面来实现对数极坐标变换以及复制功能所需要的相位。由于超构表面结构单元具有亚波长特性，它所能够承受相位梯度比传统的衍射元件大，因此在同等半径大小下，超构表面可以将极坐标变换公式中的焦距设计的更小。通过角谱法模拟优化设计参数。粘接好的超构表面集成器件可以作为一个完整的OAM解复用器。这可以大大减小OAM解复用器的体积。
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公开(公告)号：CN113258428A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110342910.8
申请日：2021-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种利用超透镜对面发射激光器进行多维度光场调控的方法，包括执行以下步骤：偏振调控步骤：圆偏振光入射超透镜表面形成透射光场，通过参数扫描，得到合适的纳米柱尺寸使得透射光场中只有交叉偏振光而没有同向偏振光；光场拓扑性质的调控步骤：通过对超透镜上单个纳米柱的旋转实现逐点的相位控制，利用该原理将所需要的相位通过纳米柱的旋转加载到超透镜上以实现对光场拓扑性质的调控；面发射激光器与超透镜相结合步骤：将受激实现横向回音壁模式发射光的面发射激光器与超透镜相结合。本发明的有益效果是：1.本发明的方法相比于利用传统光学元件对光场进行调制，超透镜具有超薄、超轻、低能耗的特点，能够对光波前灵活调控。
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公开(公告)号：CN113176000A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110433253.8
申请日：2021-04-22
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供了一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，包括相位测量系统，相位测量系统包括准直光源发生器、红外光源产生器、第一反射镜、第二反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第一小孔、分光装置、光电探测设备，准直光源发生器用于产生准直光源，准直光源依次经过第一反射镜、第二反射镜进行调制后再依次通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到干涉条纹；红外光源产生器用于产生红外光源，红外光源依次经过第五反射镜、第六反射镜、第二反射镜后再通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到光斑干涉。本发明的有益效果是：本发明的系统可以进行不同波段相位的测量，而且可以测量微米级别的超表面结构的相位。
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公开(公告)号：CN106219600B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201610536736.X
申请日：2016-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L51/46 , C01G23/00 , C01B32/184 , H01L51/54
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 本发明属于光电技术材料领域，具体涉及一种利用二维材料抑制钙钛矿俄歇复合的方法，包括：首先化学方法合成钙钛矿微米级棒状结构；然后通过湿法转移，在玻璃基底上转移石墨烯，钙钛矿下面加上一层二维材料石墨烯，对于石墨烯的拉曼光谱，G峰和2D峰的峰值均大于0.8×10k a.u.。为能在半导体激光器领域降低俄歇复合、增大激光的输出效率上的应用打下了基础，为在提高太阳能电池的效率、OLED等光电领域的应用提供了思路。
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