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公开(公告)号：CN113176000A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110433253.8
申请日：2021-04-22
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供了一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，包括相位测量系统，相位测量系统包括准直光源发生器、红外光源产生器、第一反射镜、第二反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第一小孔、分光装置、光电探测设备，准直光源发生器用于产生准直光源，准直光源依次经过第一反射镜、第二反射镜进行调制后再依次通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到干涉条纹；红外光源产生器用于产生红外光源，红外光源依次经过第五反射镜、第六反射镜、第二反射镜后再通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到光斑干涉。本发明的有益效果是：本发明的系统可以进行不同波段相位的测量，而且可以测量微米级别的超表面结构的相位。
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