公开(公告)号：CN117388961A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311325034.3

申请日：2023-10-13

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 肖淑敏 ,  于墨昕 ,  陈钦杪 ,  林国平 ,  叶佐东 ,  宋清海

IPC: G02B3/00 ,  G03F1/78 ,  G03F1/80 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种金刚石超透镜及其制备方法和深紫外波段光路测量系统，涉及微纳光学的技术领域。一种金刚石超透镜的制备方法，包括以下步骤：(1)在金刚石上蒸镀铬层作为铬硬掩膜；(2)在铬硬掩膜上旋涂光刻胶；(3)对光刻胶进行电子束曝光，制备图案掩模，并对光刻胶进行显影、定影处理；(4)在定影后的金刚石上蒸镀二氧化硅，然后将光刻胶与铬硬掩膜进行剥离；(5)刻蚀铬硬掩模；(6)刻蚀金刚石；(7)将刻蚀后的金刚石去除铬硬掩模，得到金刚石超透镜。本发明制备得到的金刚石超透镜体积小、球差、慧差小，具有偏振不敏感的功能，可在任意偏振态的入射下实现聚焦和成像功能。

公开(公告)号：CN112987290A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202110250375.3

申请日：2021-03-08

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳) ,  香港理工大学

Inventor： 宋清海 ,  陈钦杪 ,  王雨杰 ,  蔡定平 ,  肖淑敏

IPC: G02B27/00 ,  G02B3/00 ,  G02B1/00

Abstract: 本发明提供了一种可见光消色差超构透镜及其制备方法，该可见光消色差超构透镜包括亚波长的基本单元，所述可见光消色差超构透镜基本单元的相位分布ϕ(r,ω)满足公式（1），排布在r处的基本单元同时满足如公式（3）的中心频率ωo对应的相位分布ϕo(r,ωo)和如公式（4）相应的群延迟大小。采用本发明的技术方案，在420‑700纳米波长范围内，实现宽带消色差，并且聚焦效率得到显著提升，仿真结果表明其平均效率高达88.3%以上；且消色差超构透镜的数值孔径得到了提升；纵深比也得到提升。

公开(公告)号：CN113258428A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110342910.8

申请日：2021-03-30

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 宋清海 ,  张辉 ,  陈钦杪 ,  肖淑敏

IPC: H01S5/00 ,  G02B27/28

Abstract: 本发明提供了一种利用超透镜对面发射激光器进行多维度光场调控的方法，包括执行以下步骤：偏振调控步骤：圆偏振光入射超透镜表面形成透射光场，通过参数扫描，得到合适的纳米柱尺寸使得透射光场中只有交叉偏振光而没有同向偏振光；光场拓扑性质的调控步骤：通过对超透镜上单个纳米柱的旋转实现逐点的相位控制，利用该原理将所需要的相位通过纳米柱的旋转加载到超透镜上以实现对光场拓扑性质的调控；面发射激光器与超透镜相结合步骤：将受激实现横向回音壁模式发射光的面发射激光器与超透镜相结合。本发明的有益效果是：1.本发明的方法相比于利用传统光学元件对光场进行调制，超透镜具有超薄、超轻、低能耗的特点，能够对光波前灵活调控。