公开(公告)号：CN110007451A

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201910277288.X

申请日：2019-04-08

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 肖淑敏 ,  余烈国 ,  宋清海

IPC: G02B21/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/18 ,  C23C14/34 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。

公开(公告)号：CN110007451B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201910277288.X

申请日：2019-04-08

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 肖淑敏 ,  余烈国 ,  宋清海

IPC: G02B21/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/18 ,  C23C14/34 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。