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公开(公告)号：CN114594121B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210212104.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种高通量XPS设备、检测方法及应用，利用高束流X射线进行样品照射结合环形能量分析器收集从样品激发出的光电子，通过数据采集系统将测试数据转化为XPS谱图，基于所述XPS谱分析得到检测结果。本发明提供了一种圆台型高束流X射线源，从圆台型阳极靶侧面掠角出射方向为最强分布，并汇聚于一点/经单色仪汇聚X射线于一点，极大提升了X射线源的亮度，进而可提高样品中光电子的出射数量。此外，环形能量分析器在不改变探测角度情况下极大地增加了电子收集效率。本发明提供的高通量XPS设备可用于集成电路等工业产线，用于生产过程中快速检测材料表面成分、价带、能带等表面信息。
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公开(公告)号：CN114594121A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210212104.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种高通量XPS设备、检测方法及应用，利用高束流X射线进行样品照射结合环形能量分析器收集从样品激发出的光电子，通过数据采集系统将测试数据转化为XPS谱图，基于所述XPS谱分析得到检测结果。本发明提供了一种圆台型高束流X射线源，从圆台型阳极靶侧面掠角出射方向为最强分布，并汇聚于一点/经单色仪汇聚X射线于一点，极大提升了X射线源的亮度，进而可提高样品中光电子的出射数量。此外，环形能量分析器在不改变探测角度情况下极大地增加了电子收集效率。本发明提供的高通量XPS设备可用于集成电路等工业产线，用于生产过程中快速检测材料表面成分、价带、能带等表面信息。
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公开(公告)号：CN113046728B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110271529.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/34 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法，原子层沉积装置设置有：两级式可加热式主腔体；两级式可加热式主腔体外侧连接有利用电机或其它方式驱动的机械转动轴及震动器，两级式可加热式主腔体的每一级腔体两端固定有柔性可加热式气体管道；柔性可加热式气体管道外接有气动阀门及粉末过滤器；所述粉末过滤器连接有可加热式气体管道。本发明公开的沙漏型适用于实验研究及工业级别粉末样品制备的原子层沉积设备，从工艺和设备角度，突破了原子层沉积技术的效率和成本限制，可实现单次毫克～吨级别锂电池、燃料电池、催化剂等粉末的均匀包覆。
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公开(公告)号：CN113046728A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110271529.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/34 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法，原子层沉积装置设置有：两级式可加热式主腔体；两级式可加热式主腔体外侧连接有利用电机或其它方式驱动的机械转动轴及震动器，两级式可加热式主腔体的每一级腔体两端固定有柔性可加热式气体管道；柔性可加热式气体管道外接有气动阀门及粉末过滤器；所述粉末过滤器连接有可加热式气体管道。本发明公开的沙漏型适用于实验研究及工业级别粉末样品制备的原子层沉积设备，从工艺和设备角度，突破了原子层沉积技术的效率和成本限制，可实现单次毫克～吨级别锂电池、燃料电池、催化剂等粉末的均匀包覆。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN118186370A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410182490.5
申请日：2024-02-19
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/54
Abstract: 一种连续型ALD/CVD装置，涉及薄膜沉积技术领域。包括前驱体源、ALD阀门、抽空气路、载气气路、样品，前驱体气路连接前驱体源，前驱体气路上设有ALD阀门，抽空气路位于前驱体气路两侧，用于接通真空泵抽走残留前驱体和反应副产物，载气气路在最外侧，用于接通惰性气体，前驱体源的出气口与晶圆片相对，晶圆片由传送带进行传送，通过设有或不设有载气气路形成ALD脉冲模块或CVD脉冲模块。与现有的空间原子层沉积技术相比更加节省前驱体和时间，能大大提高生产效率和降低成本。本发明具有更多的工作模式，能够更好地满足生产需求，更加灵活的调节生产工艺。
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公开(公告)号：CN115791862B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211656214.5
申请日：2022-12-22
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用，包括：X射线源；环形能量分析器模块数据处理模块；实时监测模块；快速进样模块；传输模块；真空模块；加热模块；样品台模块。本发明通过提高光电子的收集立体角，大幅增加通过环形能量分析器的光电子的数量，可大幅提升设备对光电子信号的收集效率，避免多次重复扫描带来的时间消耗；可同时进行不同光谱、能谱分析、微区扫描，极大减少了检样时的步骤及时耗。本发明通过XPS检测通量的颠覆性提高，其可实现与光学方法接近量测速度，从而可以实现多重技术同步量测，大幅提高晶圆检测或量测的效率；极大提升了光电子的收集效率，可大幅缩减单个样品的检测时间。
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