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公开(公告)号：CN115747768A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211446425.6
申请日：2022-11-18
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/448
Abstract: 本发明提供了一种原子层、分子层沉积设备及沉积方法。本发明的原子层、分子层沉积设备，沉积腔体外壁面对应样品台处设有第一加热部件，沉积腔体外壁面位于样品台之外的位置设有至少一个第二加热部件，即沉积腔体采用多温区加热方式，第一加热部件对应的加热温度为待沉积样品薄膜生长的温度，而第二加热部件对应的加热温度则低于待沉积样品薄膜生长的温度，采用多温区加热方式，降低了设备对于密封胶圈的耐温需求；多个前驱体源瓶通过一转多转接件与第一管道另一端连通，前驱体源瓶之间为并联方式，由于每个前驱体源瓶均连通有载气管路，因此，每一个前驱体都会进行载气负载，避免了前驱体源之间的交叉污染。
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公开(公告)号：CN112342530B
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202011131633.8
申请日：2020-10-21
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/54 , C23C16/34
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种重力驱动空间分辨粉末原子层沉积设备、方法及应用，粉末原子层沉积设备设置有可加热式主腔体；多级可加热式主腔体之间设置有可动密封结构，并通过橡胶‑金属/橡胶密封；每级可加热式主腔体两端固定有可加热式气体管道，并在连接处设置有粉末过滤器；每级可加热式主腔体一端通过可加热式气体管道连接前驱体和载气，并由电磁阀控制开关；每级可加热式主腔体的另一端通过可加热式气体管道与真空泵连接，由电磁或气动阀门控制开关，在此阀门两端可设置有剩余气体分析器或真空计；设备整体可设置有震动器。本发明采用连续式生长模式设计腔体，明显提高镀膜的效率，降低粉末镀膜的成本。
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公开(公告)号：CN112342530A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011131633.8
申请日：2020-10-21
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/54 , C23C16/34
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种重力驱动空间分辨粉末原子层沉积设备、方法及应用，粉末原子层沉积设备设置有可加热式主腔体；多级可加热式主腔体之间设置有可动密封结构，并通过橡胶‑金属/橡胶密封；每级可加热式主腔体两端固定有可加热式气体管道，并在连接处设置有粉末过滤器；每级可加热式主腔体一端通过可加热式气体管道连接前驱体和载气，并由电磁阀控制开关；每级可加热式主腔体的另一端通过可加热式气体管道与真空泵连接，由电磁或气动阀门控制开关，在此阀门两端可设置有剩余气体分析器或真空计；设备整体可设置有震动器。本发明采用连续式生长模式设计腔体，明显提高镀膜的效率，降低粉末镀膜的成本。
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公开(公告)号：CN117288796A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311241648.3
申请日：2023-09-25
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2251
Abstract: 本发明属于表面分析仪器技术领域，公开了一种线形高通量分析量测仪器、方法，配备有线状射线源，样品台系统，曲面型能量分析器，线状电子收集器，数据采集系统，实时监测装置、快速进样室、传输装置、超高真空和高真空系统、加热装置、及预留法兰接口。本发明通过线形分析器与射线源组合构型实现线形高通量检测，通过与线状电子源组合，可实现线性俄歇能谱的表征；通过与线状离子源组合，可实现低能离子散射谱的表征；通过线状射线源，曲面型能量分析器及线状电子收集器组合，可实现晶圆的线性XPS等表面分析。本发明与传统XPS等表面表征相比，可大幅缩短晶圆的检测时间，提升检测效率。
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公开(公告)号：CN115791862A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211656214.5
申请日：2022-12-22
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用，包括：X射线源；环形能量分析器模块数据处理模块；实时监测模块；快速进样模块；传输模块；真空模块；加热模块；样品台模块。本发明通过提高光电子的收集立体角，大幅增加通过环形能量分析器的光电子的数量，可大幅提升设备对光电子信号的收集效率，避免多次重复扫描带来的时间消耗；可同时进行不同光谱、能谱分析、微区扫描，极大减少了检样时的步骤及时耗。本发明通过XPS检测通量的颠覆性提高，其可实现与光学方法接近量测速度，从而可以实现多重技术同步量测，大幅提高晶圆检测或量测的效率；极大提升了光电子的收集效率，可大幅缩减单个样品的检测时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115791862B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211656214.5
申请日：2022-12-22
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用，包括：X射线源；环形能量分析器模块数据处理模块；实时监测模块；快速进样模块；传输模块；真空模块；加热模块；样品台模块。本发明通过提高光电子的收集立体角，大幅增加通过环形能量分析器的光电子的数量，可大幅提升设备对光电子信号的收集效率，避免多次重复扫描带来的时间消耗；可同时进行不同光谱、能谱分析、微区扫描，极大减少了检样时的步骤及时耗。本发明通过XPS检测通量的颠覆性提高，其可实现与光学方法接近量测速度，从而可以实现多重技术同步量测，大幅提高晶圆检测或量测的效率；极大提升了光电子的收集效率，可大幅缩减单个样品的检测时间。
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公开(公告)号：CN114594121B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210212104.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种高通量XPS设备、检测方法及应用，利用高束流X射线进行样品照射结合环形能量分析器收集从样品激发出的光电子，通过数据采集系统将测试数据转化为XPS谱图，基于所述XPS谱分析得到检测结果。本发明提供了一种圆台型高束流X射线源，从圆台型阳极靶侧面掠角出射方向为最强分布，并汇聚于一点/经单色仪汇聚X射线于一点，极大提升了X射线源的亮度，进而可提高样品中光电子的出射数量。此外，环形能量分析器在不改变探测角度情况下极大地增加了电子收集效率。本发明提供的高通量XPS设备可用于集成电路等工业产线，用于生产过程中快速检测材料表面成分、价带、能带等表面信息。
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公开(公告)号：CN114594121A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210212104.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 南开大学
IPC: G01N23/2273
Abstract: 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种高通量XPS设备、检测方法及应用，利用高束流X射线进行样品照射结合环形能量分析器收集从样品激发出的光电子，通过数据采集系统将测试数据转化为XPS谱图，基于所述XPS谱分析得到检测结果。本发明提供了一种圆台型高束流X射线源，从圆台型阳极靶侧面掠角出射方向为最强分布，并汇聚于一点/经单色仪汇聚X射线于一点，极大提升了X射线源的亮度，进而可提高样品中光电子的出射数量。此外，环形能量分析器在不改变探测角度情况下极大地增加了电子收集效率。本发明提供的高通量XPS设备可用于集成电路等工业产线，用于生产过程中快速检测材料表面成分、价带、能带等表面信息。
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公开(公告)号：CN113046728B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110271529.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/34 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法，原子层沉积装置设置有：两级式可加热式主腔体；两级式可加热式主腔体外侧连接有利用电机或其它方式驱动的机械转动轴及震动器，两级式可加热式主腔体的每一级腔体两端固定有柔性可加热式气体管道；柔性可加热式气体管道外接有气动阀门及粉末过滤器；所述粉末过滤器连接有可加热式气体管道。本发明公开的沙漏型适用于实验研究及工业级别粉末样品制备的原子层沉积设备，从工艺和设备角度，突破了原子层沉积技术的效率和成本限制，可实现单次毫克～吨级别锂电池、燃料电池、催化剂等粉末的均匀包覆。
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公开(公告)号：CN113046728A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110271529.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/34 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法，原子层沉积装置设置有：两级式可加热式主腔体；两级式可加热式主腔体外侧连接有利用电机或其它方式驱动的机械转动轴及震动器，两级式可加热式主腔体的每一级腔体两端固定有柔性可加热式气体管道；柔性可加热式气体管道外接有气动阀门及粉末过滤器；所述粉末过滤器连接有可加热式气体管道。本发明公开的沙漏型适用于实验研究及工业级别粉末样品制备的原子层沉积设备，从工艺和设备角度，突破了原子层沉积技术的效率和成本限制，可实现单次毫克～吨级别锂电池、燃料电池、催化剂等粉末的均匀包覆。
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