公开(公告)号：CN110055513B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201910497164.2

申请日：2019-06-10

Applicant: 南开大学

Inventor： 董红 ,  孙勇

IPC: C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  C23C16/442

Abstract: 本发明属于原子层沉积领域，公开了一种粉末原子层沉积设备及其沉积方法与应用，粉末原子层沉积设备的可加热式主腔体通过轴承固定有机械传动轴，机械传动轴上卡接有粉末生长床，粉末生长床铺有粉末样品，机械传动轴上端设置有震动转动器；可加热式主腔体左端通过法兰固定有可加热式气体管道，可加热式气体管道与可加热式主腔体连接处设置有粉末过滤器；可加热式气体管道通过卡套与电磁阀连接，电磁阀通过可加热式气体管道与真空泵连接，电磁阀上端设置有剩余气体分析器。本发明的进源和抽气同端，薄膜生长效率高，并可实现不同薄膜材料的生长，生长的薄膜材料稳定性高；整体设备制作简单，提高了前驱体源的利用效率。

公开(公告)号：CN110055513A

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201910497164.2

申请日：2019-06-10

Applicant: 南开大学

Inventor： 董红 ,  孙勇

IPC: C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  C23C16/442

Abstract: 本发明属于原子层沉积领域，公开了一种粉末原子层沉积设备及其沉积方法与应用，粉末原子层沉积设备的可加热式主腔体通过轴承固定有机械传动轴，机械传动轴上卡接有粉末生长床，粉末生长床铺有粉末样品，机械传动轴上端设置有震动转动器；可加热式主腔体左端通过法兰固定有可加热式气体管道，可加热式气体管道与可加热式主腔体连接处设置有粉末过滤器；可加热式气体管道通过卡套与电磁阀连接，电磁阀通过可加热式气体管道与真空泵连接，电磁阀上端设置有剩余气体分析器。本发明的进源和抽气同端，薄膜生长效率高，并可实现不同薄膜材料的生长，生长的薄膜材料稳定性高；整体设备制作简单，提高了前驱体源的利用效率。

公开(公告)号：CN207866385U

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201820032954.4

申请日：2018-01-09

Applicant: 南开大学

Inventor： 董红 ,  孙勇

IPC: G01K11/12

Abstract: 本实用新型公开了一种基于温度感应变色材料的温度预警器，包括外壳和内部填充物；所述内部填充物为随温度变色材料，所述外壳能够透过可见光。本实用新型利用温度感应变色材料自身禁带宽度会随着温度变化而变化的特性，制作了一个温度预警器，其温度探测范围从室温到800℃，该技术运用的机理区别于现有的温度探测技术，为温度探测领域提供了另外一种手段。