基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统

    公开(公告)号:CN118960707A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411031349.1

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统,包括信号检测电路、模数转换电路、数字频率控制电路、数字幅值控制电路、乘法器和数模转换电路;信号检测电路与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的检测电极相连;模数转换电路与信号检测电路相连;模数转换电路分别与数字频率控制电路、数字幅值控制电路相连;乘法器分别与数字频率控制电路和数字幅值控制电路相连;数模转换电路与乘法器相连,且与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极相连。本发明将机电幅度调制技术应用于MEMS四质量陀螺仪的信号检测电路中,可以有效消除馈通效应和噪声耦合对MEMS四质量陀螺仪性能的影响。

    一种多相混合气体扩散和燃爆规律实验研究系统

    公开(公告)号:CN118794842A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202411078682.8

    申请日:2024-08-07

    Abstract: 本发明为一种多相混合气体扩散和燃爆规律实验研究系统,包括实验装置主体、中心进气管道、气体泄漏孔、模拟环境气进气管道、模拟环境压力控制计、模拟环境气气瓶、抽真空管道、真空泵、真空表、气瓶、质量流量计、混气管道、进气管道、纹影光源、纹影镜、反射镜、高速摄像机、可燃气体浓度变送器、温度变送器、压力传感器、数据采集器、硅胶加热带、PID温度控制器、计算机、低能脉冲点火头和低能脉冲点火器。本发明考虑到了不同的应用条件,一是适用于多组分气体的扩散和燃爆安全特性研究,二是可以拍摄扩散过程的纹影图像,深入分析扩散机理。

    一种热导式可燃气体浓度传感器的标定装置和方法

    公开(公告)号:CN117129534A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202311060304.2

    申请日:2023-08-22

    Abstract: 本发明为一种热导式可燃气体传感器浓度标定的装置,包括密封箱体、混气系统、标定管道、后处理系统和控制系统。本发明的装置能够实现自动控制,无需更多人为操作,提升标定过程的安全性;同时使用精密数字压力表和精密气体质量流量计对混合气的配气过程进行控制;可以对标定过后的混合气进行处理,避免直排大气,降低出现氢气燃爆事故的风险;可以对不同类型气体的热导式可燃气体浓度传感器进行标定。

    检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法

    公开(公告)号:CN113092817A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202110233189.9

    申请日:2021-03-03

    Inventor: 吴天豪 张晶 苏岩

    Abstract: 本发明提供了一种检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法,该加速度计工作平面层包括一个敏感质量块、三个谐振器,其中两侧的谐振器包括一个惯性力放大杠杆结构和一组差分梳齿驱动检测结构,相邻谐振器之间由等间距平板电容提供静电力构成静电耦合。当加速度较小时,由电路控制三个谐振器处于不同电位,使得三个谐振器间产生静电耦合构成模态局部化检测模式,通过振幅比检测加速度,当加速度超过预设临界值时,由电路控制取消中间谐振器的电位,使得各谐振器之间不再相互耦合,处于单独谐振状态,即由模态局部化模式切换成振梁式,通过差分谐振频率检测加速度。本发明能实现大量程、高灵敏度、大动态测量范围的高精度加速度计。

    一种具有隔振板的MEMS器件
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112299361A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010684750.0

    申请日:2020-07-16

    Abstract: 本发明公开了一种具有隔振板的MEMS器件,包括隔振板,以及设置于隔振板中心处的至少一个谐振元件。其中,隔振板包括围绕所述至少一个谐振元件的平面周期结构。平面周期结构包括多个相邻单元,每个单元均包括悬挂的质量元件,质量元件通过弹簧元件连接于单元的外框架,可沿各个空间方向移动。本发明的MEMS器件能够提高其MEMS谐振器的性能,可更有效地隔离MEMS器件与外界干扰振动,且对工艺变化和环境条件具有鲁棒性,能够广泛应用。此外,本发明的技术方案与标准MEMS制造技术相兼容,隔振板可以和MEMS器件通过标准MEMS制造工艺一同加工制造,制备方便。

    模拟射击系统及其实现方法

    公开(公告)号:CN111189355A

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN201911264445.X

    申请日:2019-12-11

    Inventor: 张晶 沈中华

    Abstract: 本发明公开了一种模拟射击系统及其实现方法,模拟射击系统包括激光发射装置、激光接收装置和上位机,所述激光发射装置包括发射单元和图像采集单元,发射单元用于向所述激光接收装置发射激光,图像采集单元用于采集瞄准视场范围内的图像,形成瞄准图像;激光接收装置用于接收激光并将激光落点位置信息传回上位机进行处理分析;上位机用于接收、录制并保存瞄准图像,并根据接收到的激光落点位置信息反馈射击成绩。本发明的模拟射击系统效果直观,提高了射击趣味性,增强了训练效果。

    一种非线性统一潮流控制器的控制方法

    公开(公告)号:CN110460058A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201810424722.8

    申请日:2018-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种非线性统一潮流控制器的控制方法,包括:建立统一潮流控制器在dq坐标系下的数学模型,其电压源换流器采用脉宽调制控制方式,建立仿射非线性系统的数学模型;选择输出函数、非线性坐标变换和状态反馈方程,将统一潮流控制器的五阶非线性系统转化为布鲁诺夫基标准线性系统;针对建立的布鲁诺夫基线性系统,采用线性极点配置方法设计统一潮流控制器内部潮流控制器。本发明针对传统线性控制器的性能可能因运行点大范围变化而恶化的缺陷,考虑统一潮流控制器的非线性特性,提出了一种基于微分几何状态反馈精确线性化理论的非线性最优控制方法,可扩展应用于所有基于电压源变换器的交流柔性输电系统装置。

    对应力不敏感的自校准硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN108008149A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201610955241.0

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明公开了一种对应力不敏感的自校准硅微谐振式加速度计,为圆片级SOI三层真空封装结构,上层为加速度计的结构盖板,布置信号输入/输出线,加速度计机械结构制作在中间的硅片层上,下层单晶硅为加速度计的衬底。加速度计机械结构由质量块、两个差分谐振器组成。敏感加速度的质量块位于结构的中间,质量块上下两侧连接的活动梳齿,其与上下对称的四个自校准电极连接的固定梳齿形成自校准电容;两个检测加速度的谐振器分别对称布置在质量块的两侧,一端通过应力隔离框架与固定基座连接,另一端通过一级杠杠放大机构与质量块相连。本发明对外界应力不敏感、敏感加速度方向强度大、具有很强的自校准能力。

    基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计

    公开(公告)号:CN103439529A

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201310398892.0

    申请日:2013-09-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计,上层为真空封装盖板,下层为衬底,中层单晶硅上制作有加速度计机械结构;加速度计机械结构包括外框架、质量块、两个刚度调整组件、两个测加速度谐振器、两个测温谐振器和四个一级杠杆放大机构,测加速度谐振器对称布置在质量块的上、下两端,该两个测加速度谐振器的一端与外框架相连,另一通过刚度调整组件与左右对称的一级杠杆放大机构的输出端相连;各一级杠杆放大机构的支点端均与外框架相连,输入端分别与质量块相连;测温谐振器对称布置在质量块的左、右两侧,外框架通过固定基座使机械结构悬空在下层的单晶硅衬底之上。本发明提高了温度补偿的精度,且实时性好、灵敏度高。

    一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体

    公开(公告)号:CN119169985A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411197572.3

    申请日:2024-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体,由周期性阵列的声子晶体原胞组成,所述原胞采用单一材料硅,以质量单元为中心,单点或多点连接悬臂梁结构的方式构成,悬臂梁以同样的间隙螺旋式环绕质量单元。本发明提供的硅三维声子晶体,可作为声子晶体原胞周期性阵列,形成外框架排布至MEMS微机械陀螺仪、加速度计等器件的四周,通过局域共振原理吸收外界振动频率,进行振动隔离。本发明克服了传统三维声子晶体需要多种材料、结构复杂、尺寸较大等缺点,能够实现10kHz及以下低频带隙,具有结构简单多变、带隙范围易于调控等特点,因此具有广泛的应用前景。

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