一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN119124289B

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411242713.9

    申请日:2024-09-05

    Abstract: 本发明公开一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法,结构主要包括:包括基板、薄膜、测温元件、面内热电制冷元件和芯片引脚;薄膜关于基板中心对称;测温元件左右对称地分布在薄膜内;面内热电制冷元件上下对称地跨置于薄膜与基板的交界处;面内热电制冷元件和测温元件的电信号通过基板四周的芯片引脚与外界相连;钝化层覆盖在结构上表面;在制造过程中,测温元件和面内热电制冷元件通过MEMS工艺实现。硅基板背面经过深硅刻蚀处理,采用硅基板正面的二氧化硅材料作为刻蚀停止层,形成具有良好机械性能的薄膜结构。本发明的结合了热敏式流量计的高灵敏度与无可动结构的优点,有效避免了因加热被测介质而产生的问题。

    基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统

    公开(公告)号:CN118960707A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411031349.1

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统,包括信号检测电路、模数转换电路、数字频率控制电路、数字幅值控制电路、乘法器和数模转换电路;信号检测电路与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的检测电极相连;模数转换电路与信号检测电路相连;模数转换电路分别与数字频率控制电路、数字幅值控制电路相连;乘法器分别与数字频率控制电路和数字幅值控制电路相连;数模转换电路与乘法器相连,且与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极相连。本发明将机电幅度调制技术应用于MEMS四质量陀螺仪的信号检测电路中,可以有效消除馈通效应和噪声耦合对MEMS四质量陀螺仪性能的影响。

    一种面向四位置寻北含止挡机构的小型化步进式旋转平台

    公开(公告)号:CN118463953A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410672844.4

    申请日:2024-05-28

    Abstract: 本发明公开了一种面向四位置寻北含止挡机构的小型化步进式旋转平台,包括综合控制电路板、步进电机、四级减速器、转台、微型电磁锁及三段式外壳;其中综合控制电路板完成整体旋转调制寻北控制;旋转机构在综合控制电路操作下完成步进电机的多角度步进旋转或连续旋转,并配合四级减速器带动转台进行旋转寻北;微型电磁锁和转台的止挡块配合实现限位,保证四位置采样的位置精度。本发明基于小型化步进式旋转平台,使整体寻北仪的体积、质量大幅降低,且步进电机和微型电磁锁功耗低,降低了整体系统的能量耗损,并基于综合控制电路和止挡机构确保了转台的旋转位置精度,提高了寻北精度。

    基于物联网的双探测器自诊断燃气监测系统

    公开(公告)号:CN112233383B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202010679503.1

    申请日:2020-07-15

    Inventor: 周同 郭俊幸

    Abstract: 本发明公开了一种基于物联网的双探测器自诊断燃气监测系统,包括监测终端、执行终端和信息交互中心,所述监测终端包括气体检测模块、电压跟随器、单片机和GPRS通信模块,其中气体检测模块采用双探测传感器,依次连接电压跟随器和单片机,所述GPRS通信模块连接在单片机上,监测终端通过GPRS通信模块与信息交互中心连接;所述执行终端包括电磁阀门控制模块、报警模块和电源管理模块,其中电磁阀门控制模块、报警模块与单片机连接,所述电源管理模块分别与气体检测模块、电压跟随器、单片机、电磁阀门控制模块、报警模块、GPRS通信模块连接。本发明能够实现对燃气的自诊断智能监测控制。

    一种基于行波马达的芯片化寻北仪

    公开(公告)号:CN116358507A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310289563.6

    申请日:2023-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于行波马达的芯片化寻北仪,包括综合控制电路板、基于MEMS芯片行波马达式旋转平台、MEMS陀螺仪装配仓、上限位盖板、显示模块接口及三段式外壳;其中综合控制电路板完成整体旋转调制寻北控制及真北方向解算;旋转平台在综合控制电路操作下完成多角度步进旋转或连续旋转,带动安装在旋转平台上的MEMS陀螺仪装配仓及上限位盖板转动,实现陀螺仪敏感轴转动;显示模块接口外接显示器实现寻北状态及结果显示。本发明基于扁平化的芯片行波马达式旋转平台,使整体寻北仪的体积、质量大幅降低,且行波马达功耗低,降低了整体系统的能量耗损,并基于综合控制电路确保了旋转调制技术对陀螺仪的常值误差补偿效果,实现了寻北精度提升。

    一种基于MEMS陀螺仪的超小型寻北系统

    公开(公告)号:CN116337028A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310289562.1

    申请日:2023-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS陀螺仪的超小型寻北系统,包括寻北上位机软件及超小型寻北仪控制系统,上位机软件通过串行接口及通讯单元实现上位机与寻北仪间的通信;控制系统在接收到上位机软件的控制指令后,控制转台朝指定角度旋转,并实现较高的角度控制精度,并实现MEMS陀螺仪的采样控制及数据传输;最终由上位机软件接收MEMS陀螺仪采样数据解算得到真北向信息。本发明基于高可靠性制备的超小型寻北仪,通过内嵌寻北仪控制系统,并外置寻北上位机软件,实现了旋转平台转动角度的实时高精度控制及陀螺仪采样数据实时显示,确保多位置寻北方案带来的累积误差补偿性能的有效性,并基于滤波解算算法,实现了小型化前提下的高精度寻北。

    一种基于强化学习的MEMS阵列加速度计自整定数据融合方法

    公开(公告)号:CN116257815A

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202211731983.7

    申请日:2022-12-30

    Inventor: 吴奇龙 周同

    Abstract: 本发明提出一种基于强化学习的MEMS阵列加速度计自整定数据融合方法,在工作模式下,MEMS阵列加速度计在通道决策切换模型的控制下开启特定数据通道,经数据采集及预处理模块获取待融合数据,待融合数据经对数映射变换后,作为通道决策切换模型和融合权重生成模型的输入,通道决策切换模型将依输入更新MEMS阵列加速度计通道使能,融合权重生成模型将依输入产生融合权重,数据融合模块根据融合权重和待融合数据产生融合输出数据;在标定模式下,还包括融合输出数据和标定数据经奖励机制模块产生奖励,通道决策切换模型和融合权重生成模型依奖励值调整自身策略模型。本发明具有高适应性、自学习的优点。

    一种曲面异形MEMS二维扫描微镜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113341560B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202110561169.4

    申请日:2021-05-22

    Inventor: 周同 庞博 郭俊幸

    Abstract: 本发明提出了一种曲面异形MEMS二维扫描微镜,包括外框、内框、线圈、曲面镜面、快轴以及慢轴,曲面镜面位于整体结构的中心,通过快轴与内框相连接,内框通过慢轴与外框连接,其中:曲面镜面采用球冠面,为一个球面被平面所截后剩下的曲面;线圈采用内置方式,由外置永磁体提供与微镜成45°的磁场,通过Z方向的洛伦兹力控制快轴及慢轴的扭臂梁的扭转,实现慢轴、快轴即Y轴、X轴的扫描;曲面异形二维扫描微镜在电磁力的控制下,在X、Y轴实现周期性、高频率摆动。本发明采用曲面异形结构,用曲面镜代替平面镜,极大地增加了MEMS二维扫描微镜的扫描视场,增大了激光雷达的扫描角度。

    一种重点区域智能巡检与预警系统及方法

    公开(公告)号:CN114115296B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202210073550.0

    申请日:2022-01-21

    Abstract: 本发明公开了一种重点区域智能巡检与预警系统及方法,平台包括无人巡检车、智能预警平台、远程监控系统;无人巡检车通过导航定位模块和控制模块实现路径规划并完成自动巡检;智能预警平台中图像处理模块采用轻量化卷积神经网络模型作为目标检测模型,将可见光与红外图像作为模型输入,进行目标的检测与识别;驱动伺服云台偏转使智能预警平台稳定跟踪目标;远程监控系统通过加解密通讯模块接收智能预警平台发送的预警信息,显示智能预警平台采集到的双光谱图像,并负责发送指令控制扬声喇叭报警与喊话,操纵智能预警平台的伺服云台对目标进行自动或手动跟踪。本发明实现了全天候复杂环境下对多目标的检测和识别,并能够对危险目标进行跟踪与预警。

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