基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统

    公开(公告)号:CN118960707A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411031349.1

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统,包括信号检测电路、模数转换电路、数字频率控制电路、数字幅值控制电路、乘法器和数模转换电路;信号检测电路与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的检测电极相连;模数转换电路与信号检测电路相连;模数转换电路分别与数字频率控制电路、数字幅值控制电路相连;乘法器分别与数字频率控制电路和数字幅值控制电路相连;数模转换电路与乘法器相连,且与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极相连。本发明将机电幅度调制技术应用于MEMS四质量陀螺仪的信号检测电路中,可以有效消除馈通效应和噪声耦合对MEMS四质量陀螺仪性能的影响。

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