一种大电容八质量MEMS陀螺仪
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117490674A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311466370.X

    申请日:2023-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种大电容八质量MEMS陀螺仪,包括固定锚点、外部固定锚点外部固定锚点、敏感质量块、敏感质量耦合梁、外部解耦质量、内部解耦质量;八个外部固定锚点、八个外部解耦质量、八个敏感质量块、八个内部解耦质量分别围成等边八边形;另外八个外部固定锚点位于八个外部解耦质量与八个敏感质量块之间;八个敏感质量块之间通过敏感质量耦合梁相连;内部解耦质量通过双U型梁与中心固定锚点连接,通过周向双折叠梁与中心固定锚点连接;敏感质量块通过径向双折叠梁连接周向双折叠梁;外部解耦质量通过周向双折叠梁连接外部固定锚点,通过周向双折叠梁分别连接固定锚点,使得外部解耦质量只能沿径向运动。本发明可布置更多检测电容。

    一种微机电陀螺的数字闭环检测系统

    公开(公告)号:CN119555107A

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202311137825.3

    申请日:2023-09-04

    Abstract: 本发明公开了一种微机电陀螺的数字闭环检测系统,用以实现大量程、高分辨率角速率检测;通过分配算法模块形成了多路反馈信号,多路反馈信号分别经过不同的PI控制器和不同范围、分辨率的数模转换器,形成大交流模拟信号和小交流模拟信号作为反馈信号,改善数字闭环量化噪声影响精度的问题,使微机电陀螺能够大量程、高分辨率检测角速率。

    一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体

    公开(公告)号:CN119169985A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411197572.3

    申请日:2024-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体,由周期性阵列的声子晶体原胞组成,所述原胞采用单一材料硅,以质量单元为中心,单点或多点连接悬臂梁结构的方式构成,悬臂梁以同样的间隙螺旋式环绕质量单元。本发明提供的硅三维声子晶体,可作为声子晶体原胞周期性阵列,形成外框架排布至MEMS微机械陀螺仪、加速度计等器件的四周,通过局域共振原理吸收外界振动频率,进行振动隔离。本发明克服了传统三维声子晶体需要多种材料、结构复杂、尺寸较大等缺点,能够实现10kHz及以下低频带隙,具有结构简单多变、带隙范围易于调控等特点,因此具有广泛的应用前景。

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