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公开(公告)号：CN103487648A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310441258.0
申请日：2013-09-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明提供了一种sigma-delta PLL频率测量电路及方法。该电路包括从输入端开始顺次设置的整形电路、鉴相器、环路滤波器、ADC和延迟环节，且延迟环节的输出端经过计数器反馈输入至鉴相器；测频方法为：整形电路将待测信号滤波、放大后，转为同频率的方波信号；鉴相器测量方波信号与计数器输出信号的过零点时间差，并输出面积与时间差成正比的脉冲电流信号；环路滤波器对鉴相器的输出电流进行积分和滤波后转为电压信号；ADC将环路滤波器输出的模拟电压转为数字信号；延迟环节对ADC输出的数字信号进行延迟，据此确定待测信号的频率；计数器产生时钟周期与延迟后数字信号成正比的计数器输出信号并输入鉴相器。本发明进行频率测量的抗噪能力强、分辨率高且易于实现。
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公开(公告)号：CN101498580B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910024421.7
申请日：2009-02-24
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种摆动式硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，该下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点，陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构组成，该两个子结构沿Y轴对称设置，并分别与横梁连接，该横梁通过两组扭杆与下层玻璃衬底相键合，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明采用扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦；扭杆代替了敏感支承梁，减小了支承梁数目，降低了加工误差对陀螺性能的影响较小。
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公开(公告)号：CN103499353B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310397454.2
申请日：2013-09-04
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种芯片式微陀螺的减振测试装置，包括胶盒、胶盖、减振胶、质量块和基板，其中胶盒通过其底部设置的安装孔固定于振动台上，胶盒腔体内壁设有环绕内壁的第一凸台，质量块外壁中间位置设有环绕外壁的第二凸台，减振胶上设有与第二凸台相配合的装配凹槽，质量块和减振胶装配后置于胶盒腔体内的第一凸台上，胶盖中间开孔且与胶盒配套设置，质量块从胶盖中间孔中穿过，胶盖内表面沿开孔边沿设有第三凸台且第三凸台压置于减振胶上，质量块的顶部固定设置基板，基板的上表面设有两个第四凸块用于固定芯片式微陀螺。本发明芯片式微陀螺的减振测试装置结构简单、安装方便、频率可调，能够满足批量生产。
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公开(公告)号：CN104391174B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201410676742.6
申请日：2014-11-21
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明提供一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法，包括以下步骤：步骤1，提供微分测频系统；步骤2，带通滤波器对输入的谐振信号进行滤波；步骤3，裂相器将滤波后的信号分成两路信号，一路信号进行希尔伯特变换，一路信号进行低通滤波；步骤4，第一微分器模块与第二微分器模块将步骤2中的两路信号分别进行两次微分；步骤5，延迟步骤3中的两路信号和步骤4中第一次微分后的两路信号；步骤6，利用交叉相乘法或绝对值法得到信号的频率值的平方；步骤7，低通滤波器对频率值的平方进行滤波后输出，并将输出信号反馈于带通滤波器。本发明提供的微分测频方法稳定性好、抗噪能力强、精度高、灵敏度高、易于实现。
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公开(公告)号：CN104180919A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410396177.8
申请日：2014-08-12
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01K7/32
Abstract: 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统，包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路，微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成，驱动电路与微谐振器形成闭环回路，保证微谐振器产生稳定的振荡信号，测频电路测量随温度变化的信号频率，并通过温度标定电路，转化为当前环境温度值；本发明的微谐振器中，双端固支音叉采用平板电容驱动，灵敏度高，线性度好，具有非常高的测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101498580A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910024421.7
申请日：2009-02-24
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种摆动式硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，该下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点，陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构组成，该两个子结构沿Y轴对称设置，并分别与横梁连接，该横梁通过两组扭杆与下层玻璃衬底相键合，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明采用扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦；扭杆代替了敏感支承梁，减小了支承梁数目，降低了加工误差对陀螺性能的影响较小。
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公开(公告)号：CN104180919B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410396177.8
申请日：2014-08-12
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01K7/32
Abstract: 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统，包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路，微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成，驱动电路与微谐振器形成闭环回路，保证微谐振器产生稳定的振荡信号，测频电路测量随温度变化的信号频率，并通过温度标定电路，转化为当前环境温度值；本发明的微谐振器中，双端固支音叉采用平板电容驱动，灵敏度高，线性度好，具有非常高的测量精度。
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公开(公告)号：CN103439529B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310398892.0
申请日：2013-09-04
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计，上层为真空封装盖板，下层为衬底，中层单晶硅上制作有加速度计机械结构；加速度计机械结构包括外框架、质量块、两个刚度调整组件、两个测加速度谐振器、两个测温谐振器和四个一级杠杆放大机构，测加速度谐振器对称布置在质量块的上、下两端，该两个测加速度谐振器的一端与外框架相连，另一通过刚度调整组件与左右对称的一级杠杆放大机构的输出端相连；各一级杠杆放大机构的支点端均与外框架相连，输入端分别与质量块相连；测温谐振器对称布置在质量块的左、右两侧，外框架通过固定基座使机械结构悬空在下层的单晶硅衬底之上。本发明提高了温度补偿的精度，且实时性好、灵敏度高。
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公开(公告)号：CN103487648B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310441258.0
申请日：2013-09-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明提供了一种sigma-delta PLL频率测量电路及方法。该电路包括从输入端开始顺次设置的整形电路、鉴相器、环路滤波器、ADC和延迟环节，且延迟环节的输出端经过计数器反馈输入至鉴相器；测频方法为：整形电路将待测信号滤波、放大后，转为同频率的方波信号；鉴相器测量方波信号与计数器输出信号的过零点时间差，并输出面积与时间差成正比的脉冲电流信号；环路滤波器对鉴相器的输出电流进行积分和滤波后转为电压信号；ADC将环路滤波器输出的模拟电压转为数字信号；延迟环节对ADC输出的数字信号进行延迟，据此确定待测信号的频率；计数器产生时钟周期与延迟后数字信号成正比的计数器输出信号并输入鉴相器。本发明进行频率测量的抗噪能力强、分辨率高且易于实现。
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公开(公告)号：CN102252668B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201110170673.8
申请日：2011-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本发明采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
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