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公开(公告)号:CN105679833A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610020616.4
申请日:2016-01-12
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L29/66969
Abstract: 本发明公开了一种具有叠层有源层的薄膜晶体管及其制备方法。所述具有叠层有源层的薄膜晶体管由至少两组子有源层依次叠设沉积构成有源层,子有源层包括一层导体/半导体层和一层绝缘层,绝缘层沉积于所述导体/半导体层上。导体/半导体层为具有导体特性或者半导体特性的三元氧化物ABO,绝缘层为具有绝缘体特性的二元氧化物AO,其中A、B分别代表金属元素;三元氧化物ABO中A元素为Al、Zr、Hf、La或Lu,B元素为Zn或In。有源层通过脉冲激光沉积方式制备而成,且不需要退火。本发明能够以低温工艺制备出高迁移率、高稳定性的薄膜晶体管。
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公开(公告)号:CN116934762B
公开(公告)日:2024-01-16
申请号:CN202311203232.2
申请日:2023-09-19
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种锂电池极片表面缺陷的检测系统及方法。本发明的系统包括相互连接的图像预处理模块、改进型极片缺陷深度学习网络;图像预处理模块用于对锂电池极片的原始表面图像进行预处理得到增强图像;图像预处理模块包括去噪模块、增强模块;去噪模块用于对原始表面图像进行K‑近邻均值滤波得到去噪图像;增强模块与去噪模块连接,用于通过小波变换的线性调整和多尺度细节增强的方式处理去噪图像的低频分量、高频分量得到增强图像;改进型极片缺陷深度学习网络用于从增强图像中检测锂电池极片的表面缺陷。本发明相比现有技术,能更高效、准确地检测出锂电池极片的表面缺陷。
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公开(公告)号:CN107507866A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710582068.9
申请日:2017-07-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/22
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L29/22 , H01L29/66522 , H01L29/66742
Abstract: 本发明属于柔性显示器件技术领域,公开了一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管及其制备方法。所述多晶氧化物柔性薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成,所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构,其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。本发明的薄膜晶体管有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构,通过诱导层表面的金属离子诱导多晶氧化物半导体晶化,改善结晶性,提升薄膜晶体管的性能,能够在室温下实现高性能的柔性薄膜晶体管。
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公开(公告)号:CN116934762A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202311203232.2
申请日:2023-09-19
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种锂电池极片表面缺陷的检测系统及方法。本发明的系统包括相互连接的图像预处理模块、改进型极片缺陷深度学习网络;图像预处理模块用于对锂电池极片的原始表面图像进行预处理得到增强图像;图像预处理模块包括去噪模块、增强模块;去噪模块用于对原始表面图像进行K‑近邻均值滤波得到去噪图像;增强模块与去噪模块连接,用于通过小波变换的线性调整和多尺度细节增强的方式处理去噪图像的低频分量、高频分量得到增强图像;改进型极片缺陷深度学习网络用于从增强图像中检测锂电池极片的表面缺陷。本发明相比现有技术,能更高效、准确地检测出锂电池极片的表面缺陷。
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公开(公告)号:CN207038532U
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201720865188.5
申请日:2017-07-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/22
Abstract: 本实用新型属于柔性显示器件技术领域,公开了一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管。所述多晶氧化物柔性薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成,所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构,其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。本实用新型的薄膜晶体管有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构,通过诱导层表面的金属离子诱导多晶氧化物半导体晶化,改善结晶性,提升薄膜晶体管的性能,能够在室温下实现高性能的柔性薄膜晶体管。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207217549U
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201720690662.5
申请日:2017-06-14
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34 , B82Y10/00 , B82Y30/00
Abstract: 本实用新型属于显示器件技术领域,公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。本实用新型采用纳米纸衬底,纳米纸具有容易降解、成本低、透明度好和可再生等特点,是非常环保的绿色衬底。纳米纸衬底薄膜晶体管能够在室温下制备,不需要热处理,具有高的迁移率,能够满足目前显示面板的要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206834182U
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201720576037.8
申请日:2017-05-23
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/221 , H01L29/227 , H01L29/24 , H01L29/786 , H01L21/34
Abstract: 本实用新型属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种类岛状电子传输的薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由衬底上依次设置的栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极构成;所述有源层为非连续的类岛状TCO薄膜和低载流子浓度材料薄膜组成的叠层结构,其中低载流子浓度材料薄膜连接相邻两个类岛状TCO薄膜,形成一个导电通道。本实用新型采用非连续的类岛状TCO薄膜能够有效降低其导电性,而低载流子的薄膜连接两个相邻TCO薄膜,使电子能够在相邻晶粒间有效传输并且维持一个理想的关态电流。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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