液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101817257B

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201010122999.9

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: B41J2/1629 B41J2/1603 B41J2/1631 B41J2/1634

    Abstract: 一种液体排出头用基板的制造方法,该基板是具有第一面和与第一面相反的第二面的硅基板,该制造方法包括如下步骤:在硅基板的第二面上提供如下的层:当暴露于硅的蚀刻剂时,该层具有比硅的蚀刻速率低的蚀刻速率;部分地去除该层,以使硅基板的第二面的一部分露出,其中,露出部分包围该层的至少一部分;以及使用硅的蚀刻剂对该层和硅基板的第二面的所述露出部分进行湿法蚀刻,以形成从硅基板的第二面延伸到第一面的液体供给口。

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