液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101817257A

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN201010122999.9

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: B41J2/1629 B41J2/1603 B41J2/1631 B41J2/1634

    Abstract: 一种液体排出头用基板的制造方法,该基板是具有第一面和与第一面相反的第二面的硅基板,该制造方法包括如下步骤:在硅基板的第二面上提供如下的层:当暴露于硅的蚀刻剂时,该层具有比硅的蚀刻速率低的蚀刻速率;部分地去除该层,以使硅基板的第二面的一部分露出,其中,露出部分包围该层的至少一部分;以及使用硅的蚀刻剂对该层和硅基板的第二面的所述露出部分进行湿法蚀刻,以形成从硅基板的第二面延伸到第一面的液体供给口。

    用于制造液体喷射头的方法

    公开(公告)号:CN107718882B

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201710682892.1

    申请日:2017-08-11

    Abstract: 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括:在基板上设置负型的第一感光树脂层;通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案;在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层;在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层;通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案;使所述第一、第二和第三感光树脂层显影;在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线;以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

    用于制造液体喷射头的方法

    公开(公告)号:CN107718882A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201710682892.1

    申请日:2017-08-11

    Abstract: 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括:在基板上设置负型的第一感光树脂层;通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案;在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层;在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层;通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案;使所述第一、第二和第三感光树脂层显影;在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线;以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

    液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101817257B

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201010122999.9

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: B41J2/1629 B41J2/1603 B41J2/1631 B41J2/1634

    Abstract: 一种液体排出头用基板的制造方法,该基板是具有第一面和与第一面相反的第二面的硅基板,该制造方法包括如下步骤:在硅基板的第二面上提供如下的层:当暴露于硅的蚀刻剂时,该层具有比硅的蚀刻速率低的蚀刻速率;部分地去除该层,以使硅基板的第二面的一部分露出,其中,露出部分包围该层的至少一部分;以及使用硅的蚀刻剂对该层和硅基板的第二面的所述露出部分进行湿法蚀刻,以形成从硅基板的第二面延伸到第一面的液体供给口。

    打印元件基板和制造打印元件基板的方法

    公开(公告)号:CN116922957A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202310420631.8

    申请日:2023-04-19

    Abstract: 本申请公开了打印元件基板和制造打印元件基板的方法。打印元件基板包括:基板,该基板包括能量生成元件,该能量生成元件生成用于从喷射口喷射液体的能量,以及,流路形成构件,包括将液体供应到喷射口的流路。流路形成构件包括不与流路连通的腔体。腔体的侧表面形成为基本上与基板垂直。基膜形成在腔体和基板之间。流路形成构件的折射率低于基膜的折射率,并且流路形成构件的折射率与基膜的折射率之差大于或等于0.3。

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