公开(公告)号：CN1621236A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410097310.6

申请日：2004-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井谦儿 ,  小山修司 ,  大角正纪 ,  永田真吾 ,  山室纯 ,  田川义则 ,  村山裕之 ,  浦山好信

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14 ,  B41J2/175

CPC classification number: B41J2/1639 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14403 ,  B41J2002/14475

Abstract: 提供一种喷墨记录头的制造方法、喷墨记录头以及喷墨墨盒。该喷墨头的制造方法，包括：准备硅基板的工序；在该基板的第一面上，形成具有设置了作为过滤器掩模的多个孔的层、以及覆盖该第一面使得第一面不从该多个孔露出的层的膜片的工序；在该基板上形成的膜片上形成紧密接触提高层的工序；在该紧密接触提高层上，形成构成多个喷出口和与该多个喷出口分别连通的多个墨流路的流路构成构件的工序；在硅基板上，通过各向异性刻蚀，从与基板的第一面相对的第二面一侧形成与多个墨流路连通的墨供给口的工序；以及将膜片的设置了多个孔的层作为掩模，在紧密接触提高层的位于墨供给口的开口部内的部位上形成过滤器的工序。

公开(公告)号：CN1621236B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200410097310.6

申请日：2004-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井谦儿 ,  小山修司 ,  大角正纪 ,  永田真吾 ,  山室纯 ,  田川义则 ,  村山裕之 ,  浦山好信

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14 ,  B41J2/175

CPC classification number: B41J2/1639 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14403 ,  B41J2002/14475

Abstract: 提供一种喷墨记录头的制造方法、喷墨记录头以及喷墨墨盒。该喷墨头的制造方法，包括：准备硅基板的工序；在该基板的第一面上，形成具有设置了作为过滤器掩模的多个孔的层、以及覆盖该第一面使得第一面不从该多个孔露出的层的膜片的工序；在该基板上形成的膜片上形成紧密接触提高层的工序；在该紧密接触提高层上，形成构成多个喷出口和与该多个喷出口分别连通的多个墨流路的流路构成构件的工序；在硅基板上，通过各向异性刻蚀，从与基板的第一面相对的第二面一侧形成与多个墨流路连通的墨供给口的工序；以及将膜片的设置了多个孔的层作为掩模，在紧密接触提高层的位于墨供给口的开口部内的部位上形成过滤器的工序。