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公开(公告)号：CN104567693A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510012759.6
申请日：2015-01-09
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。显微干涉测头采用白光光源(即采用白光显微测头)，基于白光干涉原理，可实现0.1nm的Z向分辨率，同时可直接获得被测表面的三维形貌。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。
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公开(公告)号：CN117430079A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311464577.3
申请日：2023-11-07
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于自组装材料图案化微纳关键尺寸及其制备方法，硫醇SAM制备条件简单、结构稳定有序，在表面改性、电化学、生物传感器、分子电子学等诸多领域均有应用，且研究较为深入，本发明也因其稳定有序的结构特点，将其作为自组装单层物质的制备材料，硫醇分子由巯基、碳链、官能团组成，以正烷硫醇为例，官能团为甲基，使其具有疏水性；巯基对衬底产生吸附作用，在自组装过程中最为重要；碳链的长度决定了最终形成的SAM层的厚度，碳原子成“之”字形排列，形成全反式构象，使其具有热力学稳定性，且链之间的相互吸引力有助于稳定自组装膜结构，所制备的自组装材料具有均匀性和稳定性好的特点。
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公开(公告)号：CN108444416A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810606901.3
申请日：2018-06-13
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B15/00
Abstract: 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面之间设置有粘接剂。本发明中采用在棒的顶端加工球窝，并通过粘接剂将标准球进行固定的方式，使得不对标准球进行任何破坏性加工，避免了标准球上破损导致测量结果准确性降低的问题，使得CT测量过程中可以充分利用整个球面，提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN104567693B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201510012759.6
申请日：2015-01-09
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。显微干涉测头采用白光光源(即采用白光显微测头)，基于白光干涉原理，可实现0.1nm的Z向分辨率，同时可直接获得被测表面的三维形貌。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105252505B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510851125.X
申请日：2015-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。
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公开(公告)号：CN105353170A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510873126.4
申请日：2015-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。提供一种能够将其测量值直接溯源到米定义国家基准的标准的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN119714144A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202510213079.4
申请日：2025-02-26
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B15/00
Abstract: 本申请公开了一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法，涉及干涉仪领域，该干涉仪中第一分光器设置在X射线源的出射光路上；第一反射器和第二分光器分别设置在第一分光器的透射光路上；分析器设置在第一反射器的反射光路和第二分光器的第一透射光路上；第三分光器设置在第二分光器的第二透射光路上；第二反射器设置在第三分光器的反射光路上；第三反射器设置在第三分光器的透射光路上；第三分光器设置在第二和第三反射器的反射光路上；探测模块设置在分析器和第三分光器的出射光路上，探测干涉条纹强度，处理器根据强度计算X、Y方向上的位移，本申请仅用一个光源即可实现同时对二维运动进行皮米级精度的测量，结构简单，辐射风险小。
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公开(公告)号：CN111721677B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202010460736.2
申请日：2020-05-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径，分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合，获得颗粒粒径随角度、浓度变化的趋势，进行回归分析预测，可以根据实际样本数据建立自变量与因变量的关系，进而预测出0°散射角和0样品浓度条件下对应的颗粒粒径。通过所述颗粒粒径测量方法可以消除颗粒间长程作用力、大颗粒自身散射信号互相干涉带来的粒径测量误差，解决了单一角度测量无法分析和消除误差的问题，并且解决了不同仪器、不同浓度和类型样品测量结果偏差大的问题。
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公开(公告)号：CN113533785B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110829985.9
申请日：2021-07-22
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的纳米线宽自适应测量方法及系统。所述方法包括：利用扫描电子显微镜获取纳米线宽图像并提取其强度曲线；根据均值将强度曲线分解为多个子曲线；提取每个子曲线的特征向量，获得特征向量集合；采用k‑means算法对特征向量集合中的多个特征向量进行簇划分，获得只包含单个特征向量的簇；根据该簇确定线宽曲线；根据线宽曲线确定强度曲线基底的平均强度、线宽顶部强度以及中间线条宽度的强度；根据中间线条宽度的强度计算中间线宽宽度值。本发明方法及系统从自动化测量的角度出发，基于k‑means算法，通过曲线分解和特征提取，将线宽结构从强度曲线中自适应地识别出来，通过计算机实现了线宽的精确自动测量。
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