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公开(公告)号：CN102507155B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201110344363.3
申请日：2011-11-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置，包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统，其特点在于：将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前，由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光学系统的子孔径波前，通过数控转台和数控电动位移台控制标准平面镜运动，对子孔径进行扫描，并由干涉仪检测记录子孔径波前，使检测的子孔径波前覆盖整个大口径光学系统，由计算机控制和数据处理系统通过算法将子孔径波前拼接，得到大口径光学系统全孔径波前，完成对大口径光学系统波前检测。本发明结构简单、成本低，能检测≥1000mm的大口径光学系统波前像质。
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公开(公告)号：CN103439090A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310390270.3
申请日：2013-09-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种用于子孔径拼接检测的数据采样路径规划方法，属于光学检测技术领域，该方法根据被检光学元件或光学系统口径和检测中的子孔径口径，计算检测所需子孔径个数以及每个子孔径坐标位置，合理安排子孔径采样顺序和运动路径。本发明可以用于子孔径拼接检测技术中，安排子孔径采样顺序和路径，并用于指导拼接时数据处理。
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公开(公告)号：CN102914396A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210405299.X
申请日：2012-10-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明是一种不规则表面光学玻璃材料应力检测装置，其中包括光源、折射液、被测玻璃、透射窗口、盛装容器、密封塞、探头和支架，光源输出测试光；被测玻璃置于折射液中，使测试光对准探头；透射窗口呈十字形分布，沿测试光的光轴方向安装透射窗口；透射窗口位于盛装容器底部，透射窗口的上表面低于盛装容器的底板上表面的高度；透射窗口的下表面与盛装容器的底板下表面共面；在盛装容器内注入折射液；密封塞位于盛装容器的密封孔中；探头的接收端的中心与光源输出端的输出测试光的光轴对准；支架的固定端分别连接光源的连接端和支承盛装容器，实现对不规则表面光学玻璃材料应力检测，本发明还提供一种不规则表面光学玻璃材料应力检测方法。
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公开(公告)号：CN102507155A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110344363.3
申请日：2011-11-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置，包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统，其特点在于：将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前，由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光学系统的子孔径波前，通过数控转台和数控电动位移台控制标准平面镜运动，对子孔径进行扫描，并由干涉仪检测记录子孔径波前，使检测的子孔径波前覆盖整个大口径光学系统，由计算机控制和数据处理系统通过算法将子孔径波前拼接，得到大口径光学系统全孔径波前，完成对大口径光学系统波前检测。本发明结构简单、成本低，能检测≥1000mm的大口径光学系统波前像质。
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公开(公告)号：CN101339008B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810119127.X
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种检测大口径抛物面镜K值系数的装置，其特征在于：包括测角仪、标准平面反射镜、校准平面反射镜、标准球面反射镜、平移台、二维旋转调节架；检测时，测角仪发出平行光束，经标准平面反射镜和被测大口径抛物面镜反射后，到达标准球面反射镜，反射后沿原光路返回，再次经过被测大口径抛物面镜和标准平面反射镜后回到测角仪，这样测角仪就能测出发出平行光束和返回平行光束之间的角度差，根据不同位置采样检测得到的角度差值，可以拟合出被测大口径抛物面镜的K值系数；本发明采用采样检测和角度测量使K值误差转换为角度误差的形式，为大口径抛物面面形加工提供准确的指导信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101236073A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810101293.7
申请日：2008-03-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种检测大型望远镜主次镜间距的装置，其特征在于包括：自准直平行光管、五棱镜、导轨、分划板、CCD探测系统和主控计算机；导轨安装在平行于主镜竖直直径方向上；五棱镜安装在导轨上并可沿竖直方向平移；自准直平行光管发出平行光线经五棱镜发生90°转折后经望远镜光学系统后会聚于主光轴上；分划板置于卡氏焦点处；CCD探测系统用于对平行光会聚点和分划板成像；主控计算机对CCD探测系统探测到的图像进行质心计算，得到像点位置，移动五棱镜得到另一组像点质心位置，继续移动实现对主镜的径向扫描，得到像点质心运动的轨迹，经主控计算机处理得到主次镜间距误差；本装置实现了望远镜主次镜间距检测的自动化，提高了检测精度，为大型望远镜研制后期的系统装调提供了重要保证。
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公开(公告)号：CN113376716B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202110687482.2
申请日：2021-06-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B1/115 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种衍射光学器件表面增透膜的镀膜方法，通过优化原子层沉积镀膜参数，获得衍射光学器件微结构表面共形生长的膜层镀膜工艺；以优化的镀膜参数，在光学抛光的测试基板上分别镀制高折射率膜层和低折射率膜层，利用椭圆偏振光谱方法确定膜层的光学常数和厚度，确定膜层厚度和原子层沉积镀膜周期的关系；根据膜层的光学常数设计增透膜，计算增透膜中每个膜层的原子层沉积镀膜周期数；根据增透膜的结构优化设计衍射光学器件微结构，并制备衍射光学器件基板；按照增透膜中膜层从基板到空气的排列顺序，依次在衍射光学器件表面镀制各个膜层，制备增透膜。本发明提出的镀膜方法，可以有效提高衍射光学器件的光学透过率。
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公开(公告)号：CN113403601B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202110685733.3
申请日：2021-06-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种镀膜厚度光学控制装置和方法，所述的装置包括一个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光光学元件、散射板、驱动电机、透镜、多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具。激光经过受驱动电机驱动而旋转的散射板转化为准相干光，准相干光经透镜聚焦进入多模光纤，传输至镀膜机，并经透镜准直后入射至光控测试片，透射光经透镜聚焦后进入第二多模光纤，在光纤出口经准直和分光，利用光功率计分别测量不同波长的出射光的功率，监控光控测试片上不同波长光的透射率，实现镀膜厚度的控制。薄膜厚度光学控制装置具有结构简单，安装方便，监控光源线宽窄的特征，可实现高精度光学薄膜镀膜过程的厚度控制。
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公开(公告)号：CN111006851A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911280851.5
申请日：2019-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种拼接镜中边缘子镜的波前检测装置和方法，组合使用干涉仪和激光跟踪仪，采用计算全息片补偿像差检测拼接镜中边缘子镜的波前，波前检测装置包括高精度平面反射镜、升降架、被测边缘子镜、倾斜调整装置、计算全息片、小五维调整台、标准镜头、干涉仪、隔振平台、五维调整台、激光跟踪仪、靶球。利用激光跟踪仪建立干涉仪、被测边缘子镜和平面镜的空间坐标系，放入计算全息片对准干涉仪，将干涉仪与计算全息片作为一个整体，精调整体的俯仰和倾斜，形成自准直光路，调整直至干涉仪波前检测结果中像差项为最小，即为被测边缘子镜的波前检测结果。
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公开(公告)号：CN110082074A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910432045.9
申请日：2019-05-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法。首先，干涉仪发出平面波检测平面反射镜波前1。其次，采用干涉自准直法，干涉仪发出的光束经被检光学件，平面镜自准直回干涉仪形成干涉，得到整个光学系统波前2。最后，分别用Zernike多项式拟合波前1和波前2，计算出波前1和2的Zernike系数。将波前2和波前1的对应系数之差在波前2的坐标上重构出波前，即为剔除平面反射镜引入的系统误差后被测件波前。本发明解决了干涉仪波前检测中平面镜引入的系统误差问题。
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