一种射频离子源离子束稳定性判断方法

    公开(公告)号:CN114188200B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202111368757.2

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束稳定性判断方法,包括,S1,射频离子源开启时间t满足条件ta≤t≤tb时,每间隔时间△t对离子束进行法拉第扫描并获取对应时刻ti的束流度实际测量数值Ii和峰值束流密度Jmaxi;S2,计算时刻ti的束流分布特征量Hi及体积去除率Vmi;S3,判断束流度实际测量数值Ii、峰值束流密度Jmaxi、束流分布特征量Hi及体积去除率Vmi的偏差是否均满足对应设定范围,若是,则判断为射频离子源离子束稳定性好,否则,稳定性不好。该方法通过对离子束稳定性进行检测,在离子束稳定性不好时,可以调整工艺参数来提高其稳定性,避免采用稳定性不好的离子束进行产品加工,有利于提高产品加工质量,减少次品,从而节约生产成本。

    一种用于柱塞马达的柱塞孔镗削加工装置

    公开(公告)号:CN115592162A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211350750.2

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本发明涉及一种用于柱塞马达的柱塞孔镗削加工装置,包括有:底座,用于供待柱塞马达的马达轴和缸体一上一下地布置其上;还包括有:分度盘,套设于马达轴外,与马达轴同轴设置并被布置成能绕其自身中轴线转动;内部中空的轴套,设于分度盘的上表面并位于缸体的上方,并随分度盘转动而能分别与缸体上的每个柱塞孔上下对齐;以及镗削件,包括镗刀和用于加长镗刀的刀杆,刀杆的下端与镗刀相连接,刀杆穿设于所述轴套内,并且刀杆的上端至少局部伸出于轴套外而与外部动力源的输出轴相连接,镗刀与轴套同轴布置。该装置拆装检修方便,互换性高,可根据不同的柱塞孔数量或者加工精度更换分度盘,针对此类型缸体的盲孔镗削加工具备较高的普适性和灵活性。

    一种离子束加工聚合物微球的方法

    公开(公告)号:CN114800926A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210472210.5

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种离子束加工聚合物微球的方法,S1、将待加工的聚合物微球依次装入基台的第一凹槽中,放置完成后,各聚合物微球的底面抵接在对应第一凹槽的内壁上,此时聚合物微球上半部外露的球面记为A面;S2、通过离子束依次对各聚合物微球的A面进行加工;S3、待所有聚合物微球的A面加工完成后,将背板盖设在基台上方,直到各聚合物微球的顶面抵接在对应第二凹槽的内壁上;S4、通过翻转机构将整个样品台上下翻转,然后移走基台,此时聚合物微球上半部外露的球面记为B面;S5、通过离子束依次对各聚合物微球的B面进行加工。与现有技术相比,本发明方法既能实现样品固定又能实现导电功能,且能够实现批量化加工。

    射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置

    公开(公告)号:CN212322948U

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN202020536808.2

    申请日:2020-04-13

    Abstract: 本实用新型涉及射频离子源离子束束径约束器,其特征在于:所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构;所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布,多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑,所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本实用新型还涉及一种包括束径约束器的控制装置,采用该装置进行离子束束径控制,操作方便,调节精度好,效率高,而且成本节约。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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