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公开(公告)号：CN111952483A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010376827.8
申请日：2020-05-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括：用于收纳所述基片的容器；设置在所述容器内的用于载置所述基片的载置台；和溶剂收集部件，其以与载置在所述载置台上的所述基片相对的方式设置在所述容器内，用于暂时收集从该基片气化了的所述溶液中的溶剂，所述溶剂收集部件具有多个溶剂收集单元部件，该溶剂收集单元部件具有多个开口且形成为平板状，所述溶剂收集部件通过使所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此接合而构成。根据本发明，即使是大型的基片也能够使溶剂的干燥状态在面内均匀。
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公开(公告)号：CN107464877B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201710417403.X
申请日：2017-06-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置，其能够基于利用功能液滴的拍摄结果的功能液的排出状态的检查结果适当校正功能液的排出条件。检查装置(1)检查来自喷嘴的功能液的排出状态。检查装置(1)包括拍摄由从喷嘴排出的功能液在检查片(20)上形成的多个液滴(21)的拍摄部(10)；基于拍摄部(10)的拍摄结果，测量液滴(21)的形成状态的测量部(11a)；和利用拍摄部(10)的拍摄结果，将多个液滴(21)中作为测量部(11a)的测量对象的液滴基于该液滴的形成状态进行选择的选择部(11b)。
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公开(公告)号：CN110048027A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910012458.1
申请日：2016-09-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , B41J11/00
Abstract: 本发明提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置(100)包括能够抽成真空的处理容器(1)和用于在处理容器(1)内支承基板(S)的作为基板支承部的基板支承部(3)，在干燥处理期间，在处理容器(1)内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板(S)保持在第1高度位置，在处理容器(1)内的压力为3Pa以下时，使基板(S)下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板(S)保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器(1)内的水分自底壁(11)的排气口(11a)快速地排出。
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公开(公告)号：CN109671647A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811202183.X
申请日：2018-10-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。
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公开(公告)号：CN106972114B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201610849761.3
申请日：2016-09-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）和用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为基板支承部的基板支承部（3），在干燥处理期间，在处理容器（1）内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板（S）保持在第1高度位置，在处理容器（1）内的压力为3Pa以下时，使基板（S）下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板（S）保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器（1）内的水分自底壁（11）的排气口（11a）快速地排出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106206378A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610591115.1
申请日：2013-06-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01L51/56
CPC classification number: H01L51/0026 , H01L21/67161 , H01L21/67748 , H01L21/68742
Abstract: 本发明公开了一种减压干燥装置，其对利用喷墨打印装置形成于基板上的有机材料膜进行减压干燥处理，该减压干燥装置具有：耐压容器，其构成为能够在大气压状态和真空状态之间切换；冷却板，其对容纳于上述耐压容器的内部的上述基板进行冷却；以及多个可动销，其以能够相对于上述冷却板的表面突出或没入的方式设置，用于在冷却上述基板的期间以上述基板与上述冷却板的表面分开的状态支承上述基板。
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公开(公告)号：CN104051674A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。
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公开(公告)号：CN102644051A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210035752.2
申请日：2012-02-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 从蒸镀头喷射的成膜材料，在被处理基板和处理室或者其他的蒸镀头之间反冲，成膜材料附着于与应被蒸镀的位置不同的部位，或者作为杂质混入来自各成膜材料喷出部的蒸气混合的相邻的膜中。本发明是一种成膜装置(1)，具有：收纳被处理基板(被处理基板G)的处理室(11)；和向该被处理基板喷出成膜材料的蒸气的成膜材料喷出部(13)，该成膜装置(1)，在处理室(11)的内部具有捕捉部(16、16)，其捕捉从成膜材料喷出部(13)喷出的，被被处理基板(被处理基板G)反冲的成膜材料。
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公开(公告)号：CN101321572B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200780000518.3
申请日：2007-04-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: B01D46/521 , B01D46/0023
Abstract: 本发明提供除去气体中的颗粒的气体净化装置，其特征在于，具有第一过滤层和第二过滤层，构成所述第一过滤层的纤维的直径比构成所述第二过滤层的纤维的直径粗。此外，本发明提供使用所述气体净化装置的半导体制造装置。
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公开(公告)号：CN101103262B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200680001995.7
申请日：2006-06-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01N30/06 , G01N2030/062 , G01N2030/128
Abstract: 本发明涉及测定有机物气体浓度的测定装置(2)，从处理系统内的目标空间引出目标氛围气体，测定其中有机物气体的浓度。装置(2)包括具有与目标空间连接的导入口的捕集容器(20)。排气系统(36)与捕集容器(20)连接。在捕集容器(20)内，收容有用于通过吸附有机物气体得到捕集有机物气体的捕集部件(22)。利用包括加热器(24)的温度调整机构，调整捕集部件(22)的温度，控制有机物气体的吸附/解吸。从载气供给系统(32)供给用于搬送从捕集有机物气体中取出的解吸气体的载气。利用浓度测定部(56)测定搬送解吸气体的载气中的有机物气体的浓度。
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