公开(公告)号：CN104076844A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201310103200.5

申请日：2013-03-27

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 郑乐平 ,  张晓文 ,  杨志斌 ,  郭超 ,  吴飞 ,  张志钢

IPC: G05D27/02

Abstract: 本发明提供了一种电机冷却控制系统及控制方法，该系统包括：冷却元件、导管以及流量控制单元，所述冷却元件与电机线圈相接触，所述导管与所述冷却元件相连接，所述导管中设有流动的冷却液，所述流量控制单元对所述冷却液进行控制，所述电机线圈、冷却元件以及冷却液中分别设有第一、第二和第三温度传感器，所述第一、第二和第三温度传感器分别与所述流量控制单元相连。本发明利用所述第一、第二和第三温度传感器分别对所述电机线圈、冷却元件以及冷却液中的温度进行测量，并利用三者之间的梯度差作为流量控制单元的输入参量，对所述冷却液进行闭环冷却，提高调节所述冷却液流速的时间提前量，从而提高电机的散热效果。

公开(公告)号：CN103309369A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201210062634.0

申请日：2012-03-09

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 聂宏飞 ,  杨志斌 ,  俞芸 ,  李其涛 ,  王云英

IPC: G05D16/04

Abstract: 一种光学系统内部腔室精密气体控制装置，包括：光学系统；气体控制回路，所述气体控制回路采用控制参数解耦方法设计。一种光学系统内部腔室精密气体控制方法，包括气体控制回路控制参数解耦方法，具体为：给出控制参数集；对控制参数集进行敏感性分析；对控制参数集进行相对独立性分析；对控制参数进行初次分段；选择控制装置；判断控制装置可行性；若可行，气体控制回路构建完成；若不可行，进行二次分段；选择控制装置；判断每段控制装置可行性，若可行，气体控制回路构建完成；若不可行，再分段，直至可行。本发明可对气体回路进行多参数解耦；实现高倍降压；抑制二次污染；压力稳定性好；参数在线可调，以及结构简单，可靠性高，维护方便。

公开(公告)号：CN103000486A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201110266516.7

申请日：2011-09-08

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 杨志斌 ,  束剑平 ,  张洪博 ,  赵滨 ,  江家玮

IPC: H01J61/52

Abstract: 本发明提出一种气体射流冲击冷却装置，用于冷却汞灯的阳极。汞灯包括阳极和椭球碗，阳极容置在椭球碗中。气体射流冲击冷去装置包括偶数个喷嘴，对称设置在椭球碗的上端面。喷嘴包括接入口和喷口。接入口连接冷却介质。喷口用于喷出冷却介质至阳极。本发明提出的气体射流冲击冷却装置，包括对称设置在汞灯上的喷嘴，能够对圆柱体形的阳极进行有效冷却，其成本低廉，冷却效率高，适于产业上的广泛利用。

公开(公告)号：CN102214975B

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201010143634.4

申请日：2010-04-09

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 杨志斌 ,  龚岳俊

IPC: H02K9/22 ,  H02K9/19

Abstract: 本发明公开了一种直线电机冷却结构，包含一冷却组件、电机线圈组件、第一管道和第二管道，上述电机线圈组件位于冷却组件里侧，第一管道和第二管道设置于冷却组件的同一侧，此直线电机冷却结构较好地对电机线圈温度和电机外表面温度同时实施控温，可解决电机正常运转的线圈温控，同时把自身对外环境的热影响降低到最小。

公开(公告)号：CN102214975A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN201010143634.4

申请日：2010-04-09

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 杨志斌 ,  龚岳俊

IPC: H02K9/22 ,  H02K9/19

Abstract: 本发明公开了一种直线电机冷却结构，包含一冷却组件、电机线圈组件、第一管道和第二管道，上述电机线圈组件位于冷却组件里侧，第一管道和第二管道设置于冷却组件的同一侧，此直线电机冷却结构较好地对电机线圈温度和电机外表面温度同时实施控温，可解决电机正常运转的线圈温控，同时把自身对外环境的热影响降低到最小。

公开(公告)号：CN202713114U

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201220355640.0

申请日：2012-07-20

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 龚辉 ,  杨志斌 ,  张洪博

IPC: H02K41/02 ,  H02K9/00

Abstract: 本实用新型涉及磁浮直线电机，尤其涉及一种带有冷却装置的磁浮直线电机，包括若干绕线柱、分别缠绕于每个绕线柱外侧的若干线圈、分别固定于线圈顶部和底部的上层隔板和下层隔板、设于所有线圈外围的防护环以及隔离设置于所述下层隔板下侧的磁钢阵列，所述上层隔板中设有令冷却液通过的冷却通道，每两个相邻的线圈之间竖直方向上设有翅片，所述下层隔板与所述线圈底部之间水平方向上设有散热板。本实用新型通过在每两个相邻的线圈之间设置翅片，在线圈底部与下层隔板之间设置散热板，以提高线圈的散热面积与散热效率，进而改善整个磁浮直线电机的散热状况，且结构简单、易于实现。