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公开(公告)号：CN102790474B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110130117.8
申请日：2011-05-19
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供一种平面电机初始位置探测方法，基于所述平面电机本身的位置测量传感器，通过对所述平面电机采用电流环闭环控制和位置环PID闭环控制，并利用噪声激励，依次测得所述平面电机动子的每一个三相线圈组相对定子的精细初始位置，完成平面电机初始位置的探测，不需要附加其它传感器及对应信号处理电子电路，就可实现光刻机工件台多自由度精密运动定位，简化了探测工艺，降低了探测成本。
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公开(公告)号：CN104076844A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201310103200.5
申请日：2013-03-27
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G05D27/02
Abstract: 本发明提供了一种电机冷却控制系统及控制方法，该系统包括：冷却元件、导管以及流量控制单元，所述冷却元件与电机线圈相接触，所述导管与所述冷却元件相连接，所述导管中设有流动的冷却液，所述流量控制单元对所述冷却液进行控制，所述电机线圈、冷却元件以及冷却液中分别设有第一、第二和第三温度传感器，所述第一、第二和第三温度传感器分别与所述流量控制单元相连。本发明利用所述第一、第二和第三温度传感器分别对所述电机线圈、冷却元件以及冷却液中的温度进行测量，并利用三者之间的梯度差作为流量控制单元的输入参量，对所述冷却液进行闭环冷却，提高调节所述冷却液流速的时间提前量，从而提高电机的散热效果。
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公开(公告)号：CN102075395B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200910199200.3
申请日：2009-11-20
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种数据传输总线系统包括数据传输总线、总线控制模块、原始数据采集模块、多个数据处理模块。所述总线控制模块原始数据采集模块或者数据处理模块中指定数据传输源、接收数据传输源发出的数据传输等待信号、并根据当前的传输状态控制数据传输源输出数据并且控制数据处理模块接收数据、同时输出数据传输总线忙信号。本发明的数据传输总线系统由总线控制模块对数据传输进行控制，可保证某一时刻只有一个数据处理模块发起数据传输，当多个数据模块同时发起数据传输时，不发生总线冲突。
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公开(公告)号：CN102790474A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110130117.8
申请日：2011-05-19
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供一种平面电机初始位置探测方法，基于所述平面电机本身的位置测量传感器，通过对所述平面电机采用电流环闭环控制和位置环PID闭环控制，并利用噪声激励，依次测得所述平面电机动子的每一个三相线圈组相对定子的精细初始位置，完成平面电机初始位置的探测，不需要附加其它传感器及对应信号处理电子电路，就可实现光刻机工件台多自由度精密运动定位，简化了探测工艺，降低了探测成本。
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公开(公告)号：CN102739486A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201110081142.1
申请日：2011-03-31
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供一种同步数据传输总线系统及方法，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，通过同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，提高了总线传输的灵活性；将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，每个地址包由一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址三部分地址信息组成，实现了数据的分包发送；采用直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)，实现所有运动控制卡及时握手响应或地址包的延时发送。本发明的同步数据传输总线系统可以实现严格的同步数据传输、处理和控制算法的执行，同时提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104079209B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310103920.1
申请日：2013-03-27
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种抗线圈干扰的磁浮平面电机初始化位置检测系统及方法，包括传感器组和处理器，所述传感器组包括若干传感器，所述若干传感器分别与处理器连接，至少三个发力体分别设有一个所述传感器组，每个所述传感器包括若干个霍尔元件，同一传感器在每个线圈内设有一个霍尔元件。本发明通过将霍尔元件均匀分布在不同的线圈中，从而将多个线圈中的电流产生的对霍尔元件的干扰磁密之和转化为单个线圈对邻近线圈内的霍尔元件的干扰磁密。进而可以通过计算排除此干扰，有效地避免了动子的线圈通电后产生的磁场对传感器的干扰，最终提高传感器的测量精度。
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公开(公告)号：CN102739486B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110081142.1
申请日：2011-03-31
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供一种同步数据传输总线系统及方法，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，通过同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，提高了总线传输的灵活性；将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，每个地址包由一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址三部分地址信息组成，实现了数据的分包发送；采用直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)，实现所有运动控制卡及时握手响应或地址包的延时发送。本发明的同步数据传输总线系统可以实现严格的同步数据传输、处理和控制算法的执行，同时提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。
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公开(公告)号：CN104682656A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310612815.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: H02K33/18
CPC classification number: H02K41/0356 , H02K1/17 , H02K1/34 , H02K7/09
Abstract: 本发明提供了一种平板音圈电机，包括线圈单元和两个主磁极单元，两个所述主磁极单元对所述线圈单元施加安培力，所述线圈单元内包括弱磁性小磁铁，所述两个主磁极单元对所述弱磁性小磁铁作用合力为竖直向上。本发明在线圈单元中设置了弱磁性小磁铁，通过所述弱磁性小磁铁与主磁极单元之间的磁斥力或者磁吸力始终为线圈单元提供竖直向上的力，从而实现了重力的补偿，且该结构的设置是将线圈单元中的部分构件换做了弱磁性磁铁，既不会影响线圈单元中的线圈所受到的安培力，也不会因结构的增加而产生增加电机发热这样的不利后果。
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公开(公告)号：CN104079209A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201310103920.1
申请日：2013-03-27
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种抗线圈干扰的磁浮平面电机初始化位置检测系统及方法，包括传感器组和处理器，所述传感器组包括若干传感器，所述若干传感器分别与处理器连接，至少三个发力体分别设有一个所述传感器组，每个所述传感器包括若干个霍尔元件，同一传感器在每个线圈内设有一个霍尔元件。本发明通过将霍尔元件均匀分布在不同的线圈中，从而将多个线圈中的电流产生的对霍尔元件的干扰磁密之和转化为单个线圈对邻近线圈内的霍尔元件的干扰磁密。进而可以通过计算排除此干扰，有效地避免了动子的线圈通电后产生的磁场对传感器的干扰，最终提高传感器的测量精度。
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公开(公告)号：CN103973172A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201310030302.9
申请日：2013-01-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: H02N15/00
CPC classification number: H02K11/20 , H02K1/22 , H02K15/02 , H02K41/031 , H02K2201/18 , Y10T29/49014
Abstract: 本发明涉及一种动线圈式磁浮平面电机磁对准系统及其对准方法，该系统包括磁钢阵列、固定工装以及固定于所述固定工装上的电机动子，所述电机动子包括四个呈矩阵排布的线圈组，其中相邻的两个线圈组分别对应沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向排列，每个线圈组包括若干平行设置的三相线圈，所述电机动子与所述固定工装之间设有一力传感器，在一个磁对准角度周期内变换通入三相线圈的三相电流的角度，通过力传感器测量该线圈组在第一或第二方向上的出力值，将对应所述线圈组在第一或第二方向上出力值最大的三相电流角度确定为所述线圈组的磁对准角度，本发明提供的动线圈式磁浮平面电机磁对准系统及方法提高了磁对准的精度。
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