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公开(公告)号：CN105229755A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480028781.3
申请日：2014-07-24
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04 , C04B35/581 , C23C14/34 , G01K7/22 , H01C17/12
CPC classification number: H01C7/008 , C04B35/58007 , C04B35/58042 , C04B35/581 , C04B2235/40 , C04B2235/402 , C04B2235/404 , C04B2235/405 , C04B2235/407 , C04B2235/767 , C04B2235/81 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/5826 , G01K7/22 , G01K7/223 , H01C7/04 , H01C7/041 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：MxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种。
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公开(公告)号：CN105210161A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480026067.0
申请日：2014-07-24
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04 , C04B35/581 , C23C14/34 , G01K7/22 , H01C17/12
CPC classification number: G01K7/22 , C01B21/0602 , C01P2002/72 , C01P2004/04 , C01P2006/32 , C04B35/58007 , C04B35/58042 , C04B35/581 , C04B2235/40 , C04B2235/402 , C04B2235/404 , C04B2235/405 , C04B2235/407 , C04B2235/6584 , C04B2235/6585 , C04B2235/767 , C04B2235/81 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/34 , C23C14/5826 , H01C7/04 , H01C7/041 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：MxAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种。
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公开(公告)号：CN103314418B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201280005107.4
申请日：2012-02-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 大冶美有限公司
CPC classification number: H01F1/24 , B22F1/02 , B22F1/025 , B22F3/16 , B22F3/24 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , C22C33/0214 , C22C33/0278 , C22C38/02 , C22C2202/02 , H01F1/26 , H01F1/33 , H01F3/08 , H01F27/255 , H01F41/0246 , B22F3/02 , B22F2003/248 , B22F2201/02 , B22F2201/20
Abstract: 本发明的低磁致伸缩高磁通量密度复合软磁性材料含有通过含Mg绝缘皮膜或磷酸盐皮膜进行绝缘处理的纯铁系复合软磁性粉末颗粒及包含11～16质量%的Si的Fe-Si合金粉末颗粒，其中，Fe-Si合金粉末颗粒相对于总量的比例为10～60质量%，且颗粒之间具有边界层。本发明的低磁致伸缩高磁通量密度复合软磁性材料的制造方法中，将通过含Mg绝缘皮膜或磷酸盐皮膜进行绝缘处理的纯铁系复合软磁性粉末和包含11～16质量%的Si的Fe-Si合金粉末配合成Fe-Si合金粉末相对于总量的比例为10～60质量%，并将其压缩成型，在非氧化性气氛中进行烧成。当通过含Mg绝缘皮膜对复合软磁性粉末进行绝缘处理时，将烧成温度设为500℃～1000℃，当通过磷酸盐皮膜对复合软磁性粉末颗粒进行绝缘处理时，将烧成温度设为350℃～500℃。
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公开(公告)号：CN104376939A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410381828.6
申请日：2014-08-06
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: C30B25/06 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C23C14/586 , C30B29/38 , C30B33/04 , H01C7/008 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接形成在薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wAw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN105264619B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201480031428.0
申请日：2014-08-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/223 , H01C1/14 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：Mx(Al1‑vSiv)y(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，0.0＜v＜0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M‑Al‑Si合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104508442B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201380040118.0
申请日：2013-09-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1413 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其在与加热辊等接触来检测温度时，响应性优异。本发明的温度传感器具备：一对引线框(2)；传感器部(3)，与一对引线框连接；及绝缘性保持部(4)，固定于一对引线框来保持引线框，传感器部具备：绝缘性薄膜(6)；薄膜热敏电阻部(7)，在绝缘性薄膜的表面以热敏电阻材料图案形成；一对梳状电极(8)，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳部并相互对置地图案形成；及一对图案电极(9)，连接于一对梳状电极，在绝缘性薄膜表面图案形成，一对引线框在绝缘性薄膜表面将薄膜热敏电阻部配置在之间而延伸并被粘接，并且连接于一对图案电极(9)。
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公开(公告)号：CN104798146B
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201380060819.0
申请日：2013-12-04
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C30B25/06 , C30B29/38 , C30B29/605 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。该热敏电阻用金属氮化物材料为用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAly(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104169699B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380013565.7
申请日：2013-03-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/226 , C23F1/38 , H01C1/142 , H01C1/148 , H01C7/008 , H01C17/12 , H01C17/288
Abstract: 本发明提供一种温度传感器及其制造方法，该温度传感器在针对TiAlN的热敏电阻材料层的电极结构中即使在高温环境下也不易成为高电阻，进而能够通过非烧成的方式在薄膜等上直接成膜，且具有较高的耐热性且可靠性较高。本发明的温度传感器具备：绝缘性基材(2)；薄膜热敏电阻部(3)，形成于该绝缘性基材上；及一对图案电极(4)，以将相互对置的一对对置电极部(4a)配设于薄膜热敏电阻部上的方式形成于绝缘性基材上，薄膜热敏电阻部由TiAlN的热敏电阻材料形成，图案电极具有：TiN的接合层(5)，形成于薄膜热敏电阻部上；及电极层(6)，由贵金属形成于该接合层上。
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公开(公告)号：CN104797734B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380060050.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/5826 , C23C14/586 , G01K7/22 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-wCrw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN105264619A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031428.0
申请日：2014-08-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/223 , H01C1/14 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，0.0＜v＜0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al-Si合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。
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