集成电路器件
    21.
    发明公开
    集成电路器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN115566050A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202210471876.9

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 一种集成电路(IC)器件包括在衬底上在第一横向方向上延伸的鳍型有源区。栅极线在鳍型有源区上在第二横向方向上延伸。第二横向方向与第一横向方向交叉。沟道区在衬底和栅极线之间。源极/漏极区在鳍型有源区上与栅极线相邻,并具有面对沟道区的侧壁。超晶格阻挡物在衬底和沟道区之间。超晶格阻挡物与源极/漏极区接触。超晶格阻挡物具有包括掺有氧原子的半导体层的多个第一子层和包括未掺杂的半导体层的多个第二子层被交替堆叠的结构。

    半导体装置
    26.
    发明公开
    半导体装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119108397A

    公开(公告)日:2024-12-10

    申请号:CN202311832327.0

    申请日:2023-12-28

    Abstract: 提供了一种半导体装置,所述半导体装置包括:下图案层,包括第一半导体材料;第一导电类型掺杂图案层,设置在下图案层上并且包括掺杂有第一导电类型杂质的半导体材料;源极/漏极图案,设置在第一导电类型掺杂图案层上并且包括掺杂有不同于第一导电类型杂质的第二导电类型杂质的半导体材料;沟道图案,包括半导体图案,半导体图案连接在源极/漏极图案之间,彼此隔开地堆叠,并包括与第一半导体材料不同的第二半导体材料;以及栅极图案,设置在第一导电类型掺杂图案层上并在源极/漏极图案之间,并且围绕沟道图案。

    半导体器件
    27.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN113725218A

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202110338820.1

    申请日:2021-03-30

    Abstract: 一种半导体器件,包括:在基板上的有源图案;在有源图案上的一对源极/漏极图案;在所述一对源极/漏极图案之间的沟道图案,该沟道图案包括堆叠为彼此间隔开的半导体图案;以及栅电极,与沟道图案重叠并在第一方向上延伸。所述一对源极/漏极图案中的一个包括第一半导体层和其上的第二半导体层。第一半导体层与第一半导体图案接触,该第一半导体图案是堆叠的半导体图案之一。第一半导体图案、第一半导体层和第二半导体层在第一方向上的最大宽度分别是第一宽度、第二宽度、第三宽度,第二宽度大于第一宽度并且小于第三宽度。

    半导体器件
    28.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN112687731A

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN202010984326.8

    申请日:2020-09-18

    Abstract: 一种半导体器件包括:衬底;第一有源图案,在衬底上并在第一方向上延伸,第一有源图案的上部包括第一沟道图案;第一源极/漏极图案,在第一沟道图案的上部中的凹陷中;以及栅电极,在第一有源图案上并在与第一方向交叉的第二方向上延伸,栅电极在第一沟道图案的顶表面和侧表面上,其中每个第一源极/漏极图案包括依次提供在凹陷中的第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层,第一沟道图案和第一至第三半导体层中的每个包括硅锗(SiGe),第一半导体层具有比第一沟道图案的锗浓度和第二半导体层的锗浓度高的锗浓度。

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