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公开(公告)号：CN1447395A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03107541.X
申请日：2003-03-27
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/306 , B08B3/02 , G02F1/13
Abstract: 本发明公开了一种基板处理装置，能够降低处理液的使用量，减少废液量，维持高的处理效率，将液体循环路径中部件的污染抑制在最小限度。将基板(1)以在与传送方向垂直的方向上相对于水平面倾斜的姿势传送，在水洗处理槽(10)的内底面上的、基板的较低一侧的边缘处的正下方位置附近，沿着基板传送方向立设分隔板(20)，由分隔板分隔水洗处理槽的内底部，将其区分成回收从纯水排出喷嘴(14)喷出的、未经由基板面而流下的纯水的回收槽部(24)，和接收从纯水排出喷嘴喷出的、在基板上向较低一侧流动、从边缘处流下的使用后的纯水的排液槽部(26)，将回收到回收槽部内的纯水循环使用，排出流到排液槽部内的使用后的纯水。
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公开(公告)号：CN1404102A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02142579.5
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: G05B19/41865 , G05B19/418 , G05B2219/31333 , G05B2219/31379 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/86
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN1044348A
公开(公告)日：1990-08-01
申请号：CN89108738.9
申请日：1989-11-23
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: H04N1/52 , B41M1/20 , H04N1/4058
Abstract: 通过各色彩印刷机的网版影象生成印刷影象(It4)，而同时避免了所谓星状波纹及相对于原始影象的色彩偏移，网版点(Hm4、Ic4、Ik4)呈直线形状并沿各自的规定方向延伸，从而构成了具有各自间距(dm4、dc4、dk4)的平行线。这些平行线的延伸方向和间距的确定使得它们能有效地避免星状波纹和色彩偏移。
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公开(公告)号：CN100437366C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510084449.1
申请日：2003-03-26
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: G03G15/00
CPC classification number: B41C1/1083 , B65H29/16 , B65H29/241 , B65H2405/35 , B65H2406/342 , B65H2701/1928
Abstract: 一种外鼓型的图象记录器，该记录器包括一个位于转鼓上方并且具有上料盘和下料盘的进料/卸料装置。该上料盘这样倾斜，使得其在图象记录器主体的正面上的边缘是向下的或者处于较低的高度。为了把一个印片放在上料盘上，该印片通过该料盘的下边缘送到该料盘上。该上料盘具有一个用来提升印片的可移动的抽吸垫。该外鼓型的图象记录器可以方便地把一个大尺寸的图象记录材料或印片通过该倾斜的料盘的上边缘送到该料盘上。
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公开(公告)号：CN100341631C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200310104328.X
申请日：2003-10-24
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Inventor： 芳谷光明
IPC: B08B5/00 , H01L21/304
Abstract: 提供一种在收存器内的氛围气体中存在空气流时、能不受空气流的影响而使整个基板的处理结果均匀的基板处理装置。在实施边通过搬运辊(15)移动基板(W)边从喷出喷嘴(20)向基板(W)喷出等离子气体而去除附着在基板(W)上的有机物的处理时，在喷出喷嘴(20)的正下方附近的与基板(W)的行进方向平行的位置处配置2枚侧面整流板(30)，并在喷出喷嘴(20)的下方配置下部整流板(31)。这样，由于通过设置侧面整流板(30)和下部整流板(31)，能够对处理室(10)内的空气流(FL12)进行整流，并能够使等离子气体的气体流(FL11)在基板(W)的端缘部和中央部均匀，所以能够在整个基板(W)上使有机物的去除处理结果均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1299334C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200410028731.3
申请日：2004-03-12
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/302 , H01L21/00 , B08B3/02
Abstract: 提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液(纯水)的使用量的方法。在基板(W)被向水洗处理部(10)的处理腔(12)内搬入的当初，从入口喷嘴(20)与上部喷雾嘴(22)向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔(12)内搬出之前，从上部喷雾嘴(22)与下部喷雾嘴(24)向基板供给冲洗液。
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公开(公告)号：CN1280876C
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN03107541.X
申请日：2003-03-27
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/306 , B08B3/02 , G02F1/13
Abstract: 本发明公开了一种基板处理装置，能够降低处理液的使用量，减少废液量，维持高的处理效率，将液体循环路径中部件的污染抑制在最小限度。将基板(1)以在与传送方向垂直的方向上相对于水平面倾斜的姿势传送，在水洗处理槽(10)的内底面上的、基板的较低一侧的边缘处的正下方位置附近，沿着基板传送方向立设分隔板(20)，由分隔板分隔水洗处理槽的内底部，将其区分成回收从纯水排出喷嘴(14)喷出的、未经由基板面而流下的纯水的回收槽部(24)，和接收从纯水排出喷嘴喷出的、在基板上向较低一侧流动、从边缘处流下的使用后的纯水的排液槽部(26)，将回收到回收槽部内的纯水循环使用，排出流到排液槽部内的使用后的纯水。
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公开(公告)号：CN1244858C
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN03125591.4
申请日：2003-09-24
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: G06K15/16 , B41J3/46 , B41J11/485 , B41J29/393 , G03G2215/0426
Abstract: 在打印系统中，控制器为每个进纸盒确定用于识别在打印机中提供的多个进纸盒的识别信息。当操作者指定进纸盒以用来输送用于打印由打印数据描绘的图像的纸张时，控制器存储在打印数据和已指定的进纸盒之间的对应关系。基于该对应关系，控制器将识别信息与由打印数据描绘的图像相结合，其中所述识别信息是分配给与打印数据相对应的进纸盒的，以便创建预览图像，而后显示所述预览图像。在执行打印过程之前，操作者由此能够容易地确认哪个进纸盒储存有将要打印由打印数据描绘的图像的纸张。
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公开(公告)号：CN1239958C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03108533.4
申请日：2003-03-26
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: G03B27/53
Abstract: 图象记录器包括一用于在一块印片上冲出一孔的冲孔装置。该冲孔装置具有6个可移动的冲孔器。冲孔器能冲出不同形状的孔。一具有所需形状的冲头移动到朝向一印片的位置，该印片位于一进料/卸料装置的一上料盘上。当印片由冲头冲出孔以后，该印片就被输送到一转鼓上。这样当装在转鼓上的印片冲出增大时，允许在印片上的冲孔位置有变化而不需要增加冲孔器的数量。如果冲孔标准发生冲突，则图象记录器允许所需的冲孔器定位在要求的位置。
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公开(公告)号：CN1534726A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031411.3
申请日：2004-03-29
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Inventor： 光吉一郎
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67769 , Y10S414/14
Abstract: 当将前敞口单元化箱(80a，80b)分别安装到格架(111d，121c)上时，格架(121a，121b，121c)即分别由气缸(127a，127b，127c)驱动而沿垂向运动。前敞口单元化箱(80b)由此移动到前敞口单元化箱(80a)上而形成空间(129)，用以保证前敞口单元化箱(80a)的输送路径。前敞口单元化箱(80a)于是可输送到格架(141)上而不需将前敞口单元化箱(80b)移动到另一格架之上，这样就提高了基片的处理量。
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