公开(公告)号：CN1531029A

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：CN200410028731.3

申请日：2004-03-12

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 铃木聪 ,  富藤幸雄

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/00 ,  B08B3/02

Abstract: 提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液(纯水)的使用量的方法。在基板(W)被向水洗处理部(10)的处理腔(12)内搬入的当初，从入口喷嘴(20)与上部喷雾嘴(22)向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔(12)内搬出之前，从上部喷雾嘴(22)与下部喷雾嘴(24)向基板供给冲洗液。

公开(公告)号：CN1299334C

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200410028731.3

申请日：2004-03-12

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 铃木聪 ,  富藤幸雄

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/00 ,  B08B3/02

Abstract: 提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液(纯水)的使用量的方法。在基板(W)被向水洗处理部(10)的处理腔(12)内搬入的当初，从入口喷嘴(20)与上部喷雾嘴(22)向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔(12)内搬出之前，从上部喷雾嘴(22)与下部喷雾嘴(24)向基板供给冲洗液。