公开(公告)号：CN1288718C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200410031411.3

申请日：2004-03-29

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67769 ,  Y10S414/14

Abstract: 当将前敞口单元化箱(80a，80b)分别安装到格架(111d，121c)上时，格架(121a，121b，121c)即分别由气缸(127a，127b，127c)驱动而沿垂直方向运动。前敞口单元化箱(80b)由此移动到前敞口单元化箱(80a)上而形成空间(129)，用以保证前敞口单元化箱(80a)的输送路径。前敞口单元化箱(80a)于是可输送到格架(141)上而不需将前敞口单元化箱(80b)移动到另一格架之上，这样就提高了基片的处理量。

公开(公告)号：CN1534726A

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：CN200410031411.3

申请日：2004-03-29

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67769 ,  Y10S414/14

Abstract: 当将前敞口单元化箱(80a，80b)分别安装到格架(111d，121c)上时，格架(121a，121b，121c)即分别由气缸(127a，127b，127c)驱动而沿垂向运动。前敞口单元化箱(80b)由此移动到前敞口单元化箱(80a)上而形成空间(129)，用以保证前敞口单元化箱(80a)的输送路径。前敞口单元化箱(80a)于是可输送到格架(141)上而不需将前敞口单元化箱(80b)移动到另一格架之上，这样就提高了基片的处理量。