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公开(公告)号：CN1404102A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02142579.5
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: G05B19/41865 , G05B19/418 , G05B2219/31333 , G05B2219/31379 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/86
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN100378909C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200510076024.6
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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公开(公告)号：CN101078915A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710126293.8
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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公开(公告)号：CN1773485A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200510071204.5
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN1702825A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510071203.0
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100445985C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200510071204.5
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN100385609C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN02142579.5
申请日：2002-09-06
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: G05B19/41865 , G05B19/418 , G05B2219/31333 , G05B2219/31379 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/86
Abstract: 一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。
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公开(公告)号：CN1694224A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510076024.6
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理转置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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公开(公告)号：CN1215529C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02130372.X
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67276 , G05B19/4184 , G05B23/0264 , G05B2219/31337 , G05B2219/31365 , G05B2219/31402 , G05B2219/32207 , Y02P90/14 , Y02P90/18
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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公开(公告)号：CN1396625A
公开(公告)日：2003-02-12
申请号：CN02130372.X
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67276 , G05B19/4184 , G05B23/0264 , G05B2219/31337 , G05B2219/31365 , G05B2219/31402 , G05B2219/32207 , Y02P90/14 , Y02P90/18
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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