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公开(公告)号:CN113161214A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202010078223.5
申请日:2020-01-23
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 一种离子阱,应用于离子阱技术领域,包括:磁场发生装置、光场发生装置和可变电场发生装置,磁场发生装置,用于产生离子所需的约束磁场,光场发生装置,用于产生形状可变的光场,可变电场发生装置,用于通过该光场,利用光伏效应,产生可变约束电场,该可变约束电场的电势分布与该光场分布一致,以通过该约束磁场和该可变约束电场分别操控每个离子。本申请还公开了一种离子束缚方法,可任意束缚和操控每个离子。
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公开(公告)号:CN112652509A
公开(公告)日:2021-04-13
申请号:CN202011614982.5
申请日:2020-12-31
Applicant: 南京大学 , 南京质子源工程技术研究院有限公司 , 江苏安德信超导加速器科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极,属于离子源技术领域,包括从前至后依次设置的阳极、前隔套、抑制电极、后隔套、地电极和法兰盘;前隔套与后隔套均为陶瓷隔套。本发明是一种可抑制二次电子回到离子源的双等离子体离子源质子引出的引出电极。
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公开(公告)号:CN105977116A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610176800.8
申请日:2016-03-23
Applicant: 中国科学院等离子体物理研究所
IPC: H01J3/04
CPC classification number: H01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源,包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座,以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管,离子源外部长杆上套设有压块座,压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上,压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈;离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上,灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管,离子源头部外壳固定在头部连接座上,头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本发明装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求,且结构简单安装方便。
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公开(公告)号:CN104934276A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201510195210.5
申请日:2015-02-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor: S·廷
CPC classification number: F04B37/14 , F04B19/006 , F04B35/04 , H01J41/18 , H01J41/20 , H05K13/00 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明涉及基于薄膜边缘场发射极的微离子泵。提供了一种微离子泵。该微离子泵包括多个薄膜边缘场发射极、第一门电极、第二门电极和高压阳极。该多个薄膜边缘场发射极位于第一X-Z平面中。该多个薄膜边缘场发射极具有在至少一个Y-Z平面中的具有高纵横比的相应的多个端面。第一门电极处于第二X-Z平面,该第二X-Z平面与第一X-Z平面偏离。第二门电极放置在第三X-Z平面,该第三X-Z平面与第一X-Z平面偏离。高压阳极处于第四X-Z平面,该第四X-Z平面与在第一X-Z平面中的多个薄膜边缘场发射极偏离。第二门电极位于高压阳极和多个薄膜边缘场发射极之间。
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公开(公告)号:CN1010530B
公开(公告)日:1990-11-21
申请号:CN87106761
申请日:1987-10-09
Applicant: 化学工业部北京化工研究院
Abstract: 本发明属有机质谱场电离用发射丝。是采用直接涂敷的方法来制备质谱场电离(FI)场解吸(FD)用的发射丝的方法。利用质谱计本身进行活化处理,制作过程简单、快速,且发射丝的使用寿命长,每根可用10~30次,使用过的发射丝,再经涂敷活化后,仍可继续使用。本发明制备的发射丝为不规则凹陷结构,与使用较广的针须发射丝相比具有强度大,表面积大,无断须问题等优点,凡是晶须状发射丝能分析的场解吸样品,本发明制作的发射丝同样适用。
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公开(公告)号:CN108428607B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN201711494189.4
申请日:2017-12-31
Applicant: 宁波大学 , 宁波华仪宁创智能科技有限公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 本发明提供了一种具有控温功能的离子源及其工作方法,所述离子源包括高压电极;气体管道,所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段,所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上;所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧;加热件,所述加热件设置在所述内径较小段内;测温部件,所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度;输送单元,所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本发明具有结构简单、升温快、降温快等优点。
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公开(公告)号:CN112652509B
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202011614982.5
申请日:2020-12-31
Applicant: 南京大学 , 南京质子源工程技术研究院有限公司 , 安德信科技集团有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极,属于离子源技术领域,包括从前至后依次设置的阳极、前隔套、抑制电极、后隔套、地电极和法兰盘;前隔套与后隔套均为陶瓷隔套。本发明是一种可抑制二次电子回到离子源的双等离子体离子源质子引出的引出电极。
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公开(公告)号:CN111816532B
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202010693465.5
申请日:2020-07-17
Applicant: 核工业西南物理研究院
Abstract: 本发明涉及热阴极弧放电离子源技术领域,具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本发明包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝;安装法兰上设有两个馈穿孔,每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管,馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境,馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管,馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子,灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本发明能够保证离子源能够快速更换灯丝,便于维护和维修。
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公开(公告)号:CN107808810B
公开(公告)日:2022-01-04
申请号:CN201710805474.7
申请日:2017-09-08
Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。
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公开(公告)号:CN108040498B
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201680027886.6
申请日:2016-05-11
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Abstract: 本文提供源壳体组件、离子撷取系统及改善离子撷取系统的方法。源壳体组件可包括源壳体,所述源壳体环绕包括弧室的离子源,所述源壳体具有安装于其近端处的撷取孔板。所述源壳体组件还包括真空衬垫,所述真空衬垫安置于所述源壳体的内部内以在一组真空抽吸孔周围形成屏障。在构成后,所述源壳体组件中的除撷取孔板中的开口以外的开口被撷取孔板及真空衬垫封闭,进而确保在弧室外形成的附属弧或无关离子保持于源壳体内。只有在弧室内形成的那些离子经由撷取孔板的开口而离开源壳体。
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