公开(公告)号：CN107808810A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201710805474.7

申请日：2017-09-08

Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司

Inventor： A.怀诺拉德 ,  J.兰格伯格

IPC: H01J3/04

CPC classification number: H01J41/12 ,  H01J41/18 ,  H01J3/04

Abstract: 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。

公开(公告)号：CN107808810B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201710805474.7

申请日：2017-09-08

Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司

Inventor： A.怀诺拉德 ,  J.兰格伯格

IPC: H01J3/04

Abstract: 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。