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公开(公告)号：CN109706426B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201811257859.5
申请日：2018-10-26
Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司
Inventor： A.怀诺拉德
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及方法，所述方法包括：评定多个钛板以确定每个板的晶粒尺寸；以及从所述多个钛板移除具有大于阈值尺寸的平均晶粒尺寸的所有钛板。然后，使用在移除步骤之后保留在所述多个钛板中的钛板中的一个来形成离子泵的阴极。
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公开(公告)号：CN107808810B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201710805474.7
申请日：2017-09-08
Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。
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公开(公告)号：CN109706426A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811257859.5
申请日：2018-10-26
Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司
Inventor： A.怀诺拉德
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及方法，所述方法包括：评定多个钛板以确定每个板的晶粒尺寸；以及从所述多个钛板移除具有大于阈值尺寸的平均晶粒尺寸的所有钛板。然后，使用在移除步骤之后保留在所述多个钛板中的钛板中的一个来形成离子泵的阴极。
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